haku: @keyword fluidistiikka / yhteensä: 3
viite: 3 / 3
« edellinen | seuraava »
Tekijä: | Saarela, Ville |
Työn nimi: | Glass microprocessing for fluidic devices |
Neste- ja kaasukomponentteja mikrotyöstöstämällä lasia | |
Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
Julkaisuvuosi: | 2006 |
Sivut: | 76 Kieli: eng |
Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto |
Oppiaine: | Elektronifysiikka (S-69) |
Valvoja: | Kuivalainen, Pekka |
Ohjaaja: | Franssila, Sami |
OEVS: | Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossaOppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa. Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/ Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.
Kirjautuminen asiakaskoneille
Opinnäytteen avaaminen
Opinnäytteen lukeminen
Opinnäytteen tulostus
|
Sijainti: | P1 Ark S80 | Arkisto |
Avainsanat: | microfabrication microfluidics glass etching bonding nebulizer mikrovalmistus fluidistiikka lasi etsaus bondaus sumutin |
Tiivistelmä (fin): | Tämän työn tavoitteena oli kehittää lasikiekkojen mikrotyöstöä ja soveltaa menetelmiä miniatyrisoituun sumuttimeen, joka toimii ionilähteenä massaspektrometrille. Lisäksi sumutinkomponentin ja sen suihkun lämpöominaisuuksia tutkittiin mittaamalla ja tietokonesimulaatioin. Hyvälaatuisia läpireikiä märkäetsattiin 0,5 mm paksuun lasikiekkoon käyttäen LPCVD kasvatettua piiohutkalvoa maskina. Kyseisellä maskikerroksella pistesyöpymien määrä pysyi vähäisenä eikä maskikerroksessa esiintynyt juurikaan lohkeilua. Myös PECVD kasvatettua piiohutkalvoa kokeiltiin lasin märkäetsauksen maskina, mutta se osoittautui täysin kelvottomaksi syviin etsauksiin. Työssä tutkittiin myös kahden lasikiekon yhteen liittämistä yhteensulattamalla 660 °C:ssa sekä anodisesti käyttäen piiohutkalvovälikerrosta. Molemmilla liitostavoilla rajapintaan jäi pieniä kaasukuplia, mutta liitoksen lujuus oli yhteensulattamalla huomattavasti parempi. Anodisesti liitetyt palaset sai lohkaistua irti siististi rajapintaa pitkin, mutta yhteensulatettuja puoliskoja ei voinut erottaa. Diplomityössä toteutettiin erilaisia sumutin-ionilähteitä. Komponentti koostuu kahdesta yhteen liitetystä kiekosta: toiseen kiekkoon on etsattu kanava ja suutin ja toiselle integroitu metallinen lämmitysvastus. Työssä kehitettiin sumuttimelle valmistusprosessi, jossa käytetään kahta lasikiekkoa. Myös aikaisemmin toteutettuun pii- ja lasikiekoista valmistettuun sumuttimeen tehtiin parannuksia. Ionilähteen lämpötila voi nousta käytön aikana jopa 500 °C:een. Komponentin lämpöominaisuuksia tutkittiin erilaisin menetelmin. Komponentin pinnan lämpötilajakaumaa selvitettiin lämpökameralla, jota käytettiin myös suihkun lämpötilajakauman kuvantamiseen. Suihkun lämpötilajakauma mitattiin myös 125µm termoparilla, joka oli kiinnitetty tietokoneohjattuun xyz-tasoon. Suihkua simuloitiin COMSOL Multiphysics ohjelmalla. Simulaatiotuloksien ja mittauksien välillä havaittiin hyvä korrelaatio. |
ED: | 2006-03-31 |
INSSI tietueen numero: 31469
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI