haku: @keyword AIN / yhteensä: 3
viite: 1 / 3
« edellinen | seuraava »
Tekijä: | Rosenberg, Piia |
Työn nimi: | Characterisation of piezoelectrically actuated micromechanical resonators |
Pietsosähköisesti kytkettyjen mikromekaanisten resonaattoreiden karakterisointi | |
Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
Julkaisuvuosi: | 2008 |
Sivut: | ix + 56 s. + liitt. 13 Kieli: eng |
Koulu/Laitos/Osasto: | Elektroniikan, tietoliikenteen ja automaation tiedekunta |
Oppiaine: | Elektronifysiikka (S-69) |
Valvoja: | Kuivalainen, Pekka |
Ohjaaja: | Jaakkola, Antti |
OEVS: | Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossaOppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa. Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/ Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.
Kirjautuminen asiakaskoneille
Opinnäytteen avaaminen
Opinnäytteen lukeminen
Opinnäytteen tulostus
|
Sijainti: | P1 Ark S80 | Arkisto |
Avainsanat: | AIN anchor loss BAW MEMS piezoelectricity quality factor resonator silicon ankkurihäviö hyvyyslasku pietsosähköisyys pii resonaattori |
Tiivistelmä (fin): | Tässä diplomityössä mallinnetaan, karakterisoidaan ja kehitetään pietsosähköisesti kytkettyjä mikromekaanisia resonaattoreita. Työn tärkeimpiin tuloksiin kuuluu resonaattoreiden ankkurihäviöiden numeerinen mallinnus sekä valmistusprosessin parantaminen. Tutkitut resonaattorit koostuvat yksikiteisestä piipalkista, ja ne toimivat ensimmäisessä pitkittäissuuntaisessa resonanssimoodissa. Resonaattorit herätetään pietsosähköisen alumiininitridikerroksen avulla, joka on kasvatettu resonaattorin päälle. Keskeinen kiinteän aineen mekaanisiin ominaisuuksiin liittyvä teoria, pietsosähköinen ilmiö, sekä pietsosähköisen resonaattorin toimintaperiaate ja sen valmistusprosessi esitellään. Resonaattorin toimintaperiaatetta mallinnetaan yksidimensioisella mallilla, ja sähkömekaanista kytkentää mallinnetaan sekä analyyttisesti että numeerisesti. Myös resonaattoreiden ankkurihäviöitä simuloidaan. Ankkurihäviöiden riippuvuutta useasta eri parametrista mallinnetaan, ja tuloksia verrataan mittaustuloksiin. Valmistettujen resonaattoreiden hyvyyslukua ja sähkömekaanista kytkentäkerrointa tutkitaan mittausten avulla. Mittaukset näyttävät, että resonaattorin, jonka palkki on suunnattu piin [110]-kidesuuntaan, hyvyysluku on paljon korkeampi kuin vastaavan [100]-suuntaisen resonaattorin. Mallinnuksen mukaan tämä on seurausta kidesuuntariippuvista ankkurihäviöistä. Mallinnuksen ja mittausten perusteella suunnitellaan uusia resonaattoreita, joissa suurimmat ankkurihäviötekijät on pyritty minimoimaan. Suunnitellut resonaattorit on suunnattu [110]-kidesuuntaan, ja niiden ankkurit ovat mahdollisimman kapeat. Näiden kapea-ankkuristen resonaattoreiden toteuttamiseksi valmistusprosessia parannetaan. |
ED: | 2008-02-14 |
INSSI tietueen numero: 35330
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI