haku: @keyword PEALD / yhteensä: 3
viite: 1 / 3
« edellinen | seuraava »
Tekijä: | Palmumäki, Pirkka-Ilari |
Työn nimi: | Atomikerroskasvatus |
Julkaisutyyppi: | Kandidaatintyö |
Julkaisuvuosi: | 2014 |
Sivut: | 21 Kieli: fin |
Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkötekniikan korkeakoulu |
Koulutusohjelma: | Elektroniikan ja sähkötekniikan koulutusohjelma |
Oppiaine: | Sähkötekniikka (S3026) |
Valvoja: | Turunen, Markus |
Ohjaaja: | Pyymaki Perros, Alexander |
Elektroninen julkaisu: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201401091063 |
Sijainti: | |
Avainsanat: | atomikerroskasvatus ald peald alumiinioksidi ald-sovellukset |
ED: | 2014-01-19 |
INSSI tietueen numero: 48374
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI