haku: @keyword PEALD / yhteensä: 3
viite: 1 / 3
« edellinen | seuraava »
| Tekijä: | Palmumäki, Pirkka-Ilari |
| Työn nimi: | Atomikerroskasvatus |
| Julkaisutyyppi: | Kandidaatintyö |
| Julkaisuvuosi: | 2014 |
| Sivut: | 21 Kieli: fin |
| Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkötekniikan korkeakoulu |
| Koulutusohjelma: | Elektroniikan ja sähkötekniikan koulutusohjelma |
| Oppiaine: | Sähkötekniikka (S3026) |
| Valvoja: | Turunen, Markus |
| Ohjaaja: | Pyymaki Perros, Alexander |
| Elektroninen julkaisu: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201401091063 |
| Sijainti: | |
| Avainsanat: | atomikerroskasvatus ald peald alumiinioksidi ald-sovellukset |
| ED: | 2014-01-19 |
INSSI tietueen numero: 48374
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI