haku: @keyword embrittlement / yhteensä: 3
viite: 1 / 3
« edellinen | seuraava »
Tekijä: | Broas, Mikael |
Työn nimi: | Embrittlement of Polysilicon Thin Films Under a Corrosive Atmosphere |
Monikiteisten piiohutkalvojen haurastuminen korrodoivassa ympäristössä | |
Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
Julkaisuvuosi: | 2013 |
Sivut: | vii + 78 s. + liitt. 12 Kieli: eng |
Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkötekniikan korkeakoulu |
Oppiaine: | Elektroniikan integrointi ja luotettavuus (S-113) |
Valvoja: | Paulasto-Kröckel, Mervi |
Ohjaaja: | Mattila, Toni |
Elektroninen julkaisu: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201401101088 |
OEVS: | Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossaOppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa. Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/ Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.
Kirjautuminen asiakaskoneille
Opinnäytteen avaaminen
Opinnäytteen lukeminen
Opinnäytteen tulostus
|
Sijainti: | P1 Ark Aalto 1085 | Arkisto |
Avainsanat: | polysilicon silicon nitride MEMS embrittlement thin film reliability testing nanoindentation TEM XPS monikiteinen pii piinitridi MEMS haurastuminen ohutkalvo luotettavuustestaus nanoindentaatio TEM XPS |
ED: | 2014-01-19 |
INSSI tietueen numero: 48422
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI