haku: @instructor Anttila, Olli / yhteensä: 4
hakutulos-lista
viite: 2 / 4
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Virolainen, Ulla
Työn nimi:Kidevirheiden vaikutus piin syöpymiskäyttäytymiseen KOH-syövytteessä
Effect of Defects on Etching Behaviour of Silicon in KOH-Solution
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:1999
Sivut:83      Kieli:   fin
Koulu/Laitos/Osasto:Materiaali- ja kalliotekniikan osasto
Oppiaine:Metalli- ja materiaalioppi   (Mak-45)
Valvoja:Lindroos, Veikko
Ohjaaja:Haimi, Eero ; Anttila, Olli
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark V80     | Arkisto
Tiivistelmä (fin):Työn teoriaosassa tarkastellaan piin anisotrooppisen syövytyksen teoriaa sekä yleisimpiä hydroksidipohjaisia anisotrooppisia syövytteitä.
Lisäksi tarkastellaan mikromekaniikan komponenttien valmistuksen yleisimpiä prosessivaiheita ja kulmakompensaatiokuvioiden käyttöä anisotrooppisessa syövytyksessä.
Teoriaosassa käsitellään myös piin kidevirheitä ja niiden syntymekanismeja erilaisissa kaksivaiheisissa lämpökäsittelyissä.
Lisäksi käsitellään piin syöpymiskäyttäytymiseen vaikuttavia tekijöitä kuten syövytteen epäpuhtauksia, happierkaumia ja kidevirheitä.
Lopuksi esitellään kidevirheiden ja syöpymisen tutkimiseen käytettäviä menetelmiä.

Työn kokeellisessa osassa koemateriaalina oli neljä eri piikiekkotyyppiä: matalahappisia runsas- tai normaaliseosteisia kiekkoja ja normaalihappisia runsas- tai normaaliseosteisia kiekkoja.
Työssä esitellään koekiekkojen karakterisointiin käytetyt hapen- ja vähemmistövarauksenkuljettajien elinajan mittausmenetelmät sekä kiekoille tehdyt eripituiset kaksivaiheiset lämpökäsittelyt, joissa ydintämishehkutus tapahtui joko 700 tai 800 °C:ssa ja erkautushehkutus 1050 °C:ssa.
Kokeellisessa osassa esitellään myös näytteenvalmistuksen eri vaiheet sekä anisotrooppisen syövytyksen koejärjestelyt ja syöpymisnopeuksien- ja hajontojen määritys.
Kokeissa määritettiin eri lämpöhistorian omaavien koekiekkojen syöpymisnopeudet- ja hajonnat.
Lisäksi määritettiin näytekiekkojen kidevirhetiheydet ja virheiden keskimääräinen koko.
Saatujen tulosten pohjalta vertailtiin matala- ja normaalihappisten kiekkojen syöpymisnopeuksien hajontoja keskenään.
Lisäksi tarkasteltiin nopeitten syöpyvän tason syöpymisnopeuden hajonnan ja kidevirheiden määrän- ja koon yhteyttä.
Tulosten tarkastelussa todetaan matalahappisilla kiekoilla olevan pienempi syöpymisnopeuden hajonta normaalihappisiin kiekkoihin verrattuna.
Lisäksi todetaan, ettei bulk-kidevirheillä ole vaikutusta syöpymisnopeuden hajontaan ja esitetään oksidoinnissa syntyvien pintavirheiden mahdollinen vaikutus hajontaa lisäävänä tekijänä.
ED:1999-02-08
INSSI tietueen numero: 14014
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI