haku: @keyword SU-8 / yhteensä: 4
hakutulos-lista
viite: 4 / 4
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Piirainen, Tommi
Työn nimi:Fabrication of thermally insulated micromechanical structures
Termisesti eristettyjen mikromekaanisten rakenteiden valmistus
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2004
Sivut:vii + 66 s. + liitt. 9      Kieli:   eng
Koulu/Laitos/Osasto:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Oppiaine:Elektronifysiikka   (S-69)
Valvoja:Kuivalainen, Pekka
Ohjaaja:Franssila, Sami
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark S80     | Arkisto
Avainsanat:Bolometer
thermally insulated structures
free-standing structures
silicon-rich silicon nitride
vastusanturi
termisesti eristetyt rakenteet
itsekantavat rakenteet
piirikaspiinitridi
SU-8
Tiivistelmä (fin):Tässä työssä on valmistettu radiotaajuinen tehosensori.
Työssä tutkittiin jännitysvapaan kromin kasvatusta sputterointilaitteella ja piinitridin kasvatusta matalan paineen kaasufaasimenetelmällä, tarkoituksena valmistaa itsekantavia rakenteita.
Jännitysvapaan piinitridi ja kromi prosesseilla valmistettiin piinitridi siltoja ja piinitridin ja kromin kerrosrakenteisia siltoja.
Lopullinen teho sensori tehtiin kuitenkin eristävän SU-8 kalvon päälle, koska sen valmistaminen oli helpompaa.

Kromin ja piinitridin jännityksiä mitattiin jännitysanalysaattorilla ja ohutkalvojen jännitykset minimoitiin lämpötilan, paineen ja sähkötehon avulla sputteroinnissa ja lämpötilan, paineen ja kaasujen virtaussuhteen avulla kaasufaasikasvatuksessa.
Plasma-aktivoitu kaasufaasikasvatettuja piidioksidi ja piinitridi kalvojen soveltuvuutta syövytysmaskeiksi tutkittiin tetrametyyliammoniumhydroksidi (TMAH) syövytyksellä.
Sputteroidun kromin neliöresistanssi mitattiin neljäpistemenetelmällä ja haluttuun neliöresistanssiin päästiin sputterointi aikaa muuttamalla.
Vastusanturi kalibroitiin elekronisen lämpölevyn ja nelipistemittarin avulla.

Lopuksi teho sensorit sahattiin puolijohdesiruiksi ja anturisirun päälle liimattiin kansisiru kaksikomponentti liimalla.
ED:2005-01-19
INSSI tietueen numero: 26671
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI