haku: @keyword vacancy / yhteensä: 4
hakutulos-lista
viite: 2 / 4
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Pennanen, Katja
Työn nimi:Termisten vakanssien tutkiminen vahvasti n-tyyppisessä piissä positroniannihilaatiospektroskopialla
Observation of thermal vacancies in highly n-type silicon by positron annihilation spectroscopy
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2005
Sivut:96      Kieli:   fin
Koulu/Laitos/Osasto:Teknillisen fysiikan ja matematiikan osasto
Oppiaine:Fysiikka   (Tfy-3)
Valvoja:Saarinen, Kimmo
Ohjaaja:
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark TF80     | Arkisto
Avainsanat:positron spectroscopy
silicon
vacancy
positronispektroskopia
pii
vakanssivirhe
Tiivistelmä (fin):Termisten vakanssien ymmärtäminen on tärkeää, sillä ne välittävät seostusatomien diffuusiota.
Tämä diffuusio johtaa sähköisesti passiivisten vakanssi-epäpuhtausklusterien syntymiseen, jotka puolestaan huonontavat ratkaisevasti piin sähköisiä ominaisuuksia.

Työssä tutkittiin termisiä vakansseja positronispektroskopian menetelmin voimakkaasti arseenilla ja fosforilla seostetuissa bulk-piinäytteissä sekä antimonilla ja arseenilla seostetuissa ohutkalvoissa.
Termisten vakanssien havaitsemiseksi bulk-näytteistä mitattiin positronin elinaikaa ja Doppler-levenemää lämpötiloissa 200-800 K.
Ohutkalvojen tapauksessa näytteitä toivutettiin erillisessä putkiuunissa ja mitattiin huoneenlämpötilassa.

As-seostetussa näytteessä termiset vakanssit näkyivät positronin keskimääräisen elinajan kohoamisena lämpötiloissa 750-800 K.
Syntyneiden virheiden konsentraatio oli kuitenkin liian pieni virheiden tarkemmaksi identifioimiseksi.
Todettiin myös, ettei positroni loukkuunnu V-As3-virheeseen yli 580 K lämpötilassa.
P-seostetussa näytteessä havaittiin termisten vakanssien syntymistä 290-750 K lämpötiloissa. 700 K ja 750 K lämpötiloissa näytteen pinnan lähellä nähdään vakansseja ja V-P-pareja ja syvemmällä näytteessä P-atomien ympäröimiä vakansseja.
Näytteen jäähdyttyä huoneenlämpötilaan osa vakansseista jää näytteeseen ja pinnan läheisyydessä nähdään pieni konsentraatio divakansseja.

As-seostetuissa ja RTA-toivutetuissa ohutkalvoissa havaittiin 800 K ja 1000 K lämpötiloissa tehtyjen toivutusten jälkeen termisiä vakanssivirheitä, jotka näkyvät selkeänä tasona W-parametrissa.
Vakanssivirheet ovat mitä todennäköisimmin divakansseja ja niitä nähdään pieni konsentraatio jo RTA-toivutuksen jälkeen.
Tason sijainnin perusteella voidaan sanoa, että virhekonsentraatio on vähintään luokkaa 1019 cm-3.
Sb-seostetussa ohutkalvonäytteessä, jonka seostuskonsentraatio oli 9,4.1020 cm-3, 800 K lämpötilassa tehdyn toivutuksen jälkeen vakanssien ympärillä havaitaan lisää Sb-atomeita.

Lisäksi työssä laskettiin teorian perusteella positronin loukkuuntumista relaksoituihin vakansseihin ja vakanssi-arseenipareihin ja selvitettiin eri lämmitysmenetelmien soveltuvuutta näytteen lämmittämiseen positronimittausten aikana.
ED:2005-11-08
INSSI tietueen numero: 29939
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI