haku: @keyword substraatti / yhteensä: 4
viite: 2 / 4
Tekijä: | Lehikoinen, Ilona |
Työn nimi: | Nanopainatuslitografia |
Julkaisutyyppi: | Kandidaatintyö |
Julkaisuvuosi: | 2015 |
Sivut: | 24 Kieli: fin |
Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkötekniikan korkeakoulu |
Koulutusohjelma: | Elektroniikan ja sähkötekniikan koulutusohjelma |
Oppiaine: | Sähkötekniikka (S3026) |
Valvoja: | Turunen, Markus |
Ohjaaja: | Sopanen, Markku |
Elektroninen julkaisu: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201506303335 |
Sijainti: | |
Avainsanat: | nanopainatuslitografia muotti resisti substraatti |
ED: | 2015-08-16 |
INSSI tietueen numero: 51605
+ lisää koriin
INSSI