haku: @supervisor Tittonen, Ilkka / yhteensä: 48
viite: 34 / 48
Tekijä: | Marttila, Seppo |
Työn nimi: | Mikromekaaninen ionilähde piitä ja lasia prosessoimalla |
Micromechanical ion source mode of silicon and glass | |
Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
Julkaisuvuosi: | 2003 |
Sivut: | ix + 83 Kieli: fin |
Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto |
Oppiaine: | Mittaustekniikka (S-108) |
Valvoja: | Tittonen, Ilkka |
Ohjaaja: | Franssila, Sami |
OEVS: | Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossaOppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa. Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/ Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.
Kirjautuminen asiakaskoneille
Opinnäytteen avaaminen
Opinnäytteen lukeminen
Opinnäytteen tulostus
|
Sijainti: | P1 Ark S80 | Arkisto |
Avainsanat: | silicon etching glass etching wafer bonding mass spectrometry piin etsaus lasin etsaus kiekkobondaus massaspektrometria APCI |
ED: | 2004-02-06 |
INSSI tietueen numero: 21172
+ lisää koriin
INSSI