haku: @supervisor Tittonen, Ilkka / yhteensä: 48
hakutulos-lista
viite: 26 / 48
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Väisäsvaara, Juha
Työn nimi:Charging effects in capacitive MEMS
Varautumisilmiöt kapasitiivisissa MEMS-rakenteissa
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2004
Sivut:ix + 102      Kieli:   eng
Koulu/Laitos/Osasto:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Oppiaine:Mittaustekniikka   (S-108)
Valvoja:Tittonen, Ilkka
Ohjaaja:Koskenvuori, Mika
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark S80     | Arkisto
Avainsanat:capacitive sensor
electrical breakdown
emission
MEMS
microgap
vacuum breakdown
mikromekaniikka
emissio
läpilyönti
tyhjiöläpilyönti
kapasitiivinen anturi
pienet etäisyydet
Tiivistelmä (fin):Tässä työssä tutkittiin varautumisilmiötä ja niistä johtuvia läpilyöntejä kapasitiivisissa MEMS (micro-electro-mechanical structures) rakenteissa.
Työssä tutkittiin myös kirjallisuusselvityksenä erilaisia mikromekaanisten rakenteiden kuvaamis- ja analysointimenetelmiä, joita voitaisiin mahdollisesti käyttää lisätiedon hankkimiseksi läpilyönti-ilmiöistä.

Teoriaosiossa käydään läpi läpilyönti-ilmiöön liittyvät oleelliset näkökohdat ja yritetään luoda kokonaiskuva rakenteissa vaikuttavista ilmiöistä nykytiedon valossa.
Myös viimeisimmät hypoteesit läpilyöntiprosessin syille ja läpilyönnin etenemiselle on pyritty esittämään.

Työssä mitattiin useiden kapasitiivisten paineantureiden virtajännite-käyttäytymistä.
Mittauksista voitiin todeta emissio-ilmiö kyseisissä rakenteissa ennen läpilyöntiä ja läpilyönnin aiheuttama materiaalin kasaantuminen/siirtyminen.
Mittauksissa tutkittiin myös polariteetin vaikutusta emissioon ja läpilyöntiin, läpilyönnin ennakointia ja emissiovirtaa.
ED:2005-01-18
INSSI tietueen numero: 26661
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI