haku: @supervisor Tittonen, Ilkka / yhteensä: 48
hakutulos-lista
viite: 21 / 48
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Chekurov, Nikolai
Työn nimi:Prebreakdown processes in capacitive microsystems
Läpilyöntiä edeltävät prosessit mikrosysteemeissä
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2005
Sivut:66+11      Kieli:   eng
Koulu/Laitos/Osasto:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Oppiaine:Optiikka ja molekyylimateriaalit   (S-129)
Valvoja:Tittonen, Ilkka
Ohjaaja:Koskenvuori, Mika
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark S80     | Arkisto
Avainsanat:electrical breakdown
MEMS
capacitive microsystems
electron emission
electrode conditioning
sähkön läpilyönti
MEMS
kapasitiiviset mikrosysteemit
elektroniemissio
elektrodin sähköinen pinnankäsittely
Tiivistelmä (fin):Elektroniikan miniatyrisointi ja mikrosysteemit ovat tuoneet mukanaan joukon ilmeisiä etuja, mutta myös uusia haasteita mikroskaalan fysikaalisten ilmiöiden hallinnassa.
Usein kytkentä lukuelektroniikan ja kolmiulotteisen mikromekaanisen komponentin välillä toteutetaan liikkuvan elektrodin avulla, joka on osa kondensaattoria.
DC - ja AC - eksitointijännitteet aiheuttavat varsin voimakkaita sähkökenttiä mikrometrikokoisessa kytkentäraossa ja saavat aikaan monenlaisia transientti-ilmiösarjoja, jotka ilmenevät sähköstaattisinä läpilyöntinä.
Varsinaista läpilyöntiä kuitenkin edeltää mitattavissa oleva raon vuotovirran kasvu.

Teoriaosiossa käydään läpi läpilyöntiä edeltäviä prosesseja sekä tapoja muuttaa kapasitiivisen raon maksimiläpilyöntijännitettä.
Oslon pääjohtopäätös on se, että 5µm kapeammassa raossa kaasun vaikutus on olematon ja läpilyöntikestävyyden määrittää elektroniemissio, joka on hyvin tunnettu ilmiö tyhjiölaitteiden yhteydessä.

Kokeellisia mittauksia varten on rakennettu tietokoneohjattu mittausjärjestelmä, jolla pystytään mittaamaan komponentin läpilyöntiä edeltävät virta-jännite - ominaisuudet virran olleessa 10-11 - 10-12 A.
Laitteisto pystyy myös muuttamaan raon leveyttä sekä komponentin lämpötilaa.

Kokeet eivät paljastaneet ainoastaan läpilyöntiprosessin perusperiaatteita mikrometrikokoisessa raossa, vaan myös katodipinnan topografian tärkeän roolin.
Yksi tärkeimmistä tämän työn tuloksista on se, että mikroskooppisen raon jännitekestokykyä voidaan parantaa jo valmiin komponentin osalta käyttämällä erilaisia elektrodin sähköisiä pintakäsittelytekniikoita, esimerkiksi asettamalla elektrodien väliin jännite, joka on tarpeeksi korkea käynnistämään läpilyöntiä edeltävät prosessit mutta silti liian matala aiheuttaakseen läpilyönnin.
ED:2006-01-19
INSSI tietueen numero: 30521
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI