haku: @keyword lämpötila / yhteensä: 48
viite: 26 / 48
| Tekijä: | Kilpi, Olli-Pekka |
| Työn nimi: | Lämpötilan vaikutus TiO2 ohutkalvon rakenteeseen atomikerroskasvatuksessa |
| Julkaisutyyppi: | Kandidaatintyö |
| Julkaisuvuosi: | 2012 |
| Sivut: | 30 Kieli: fin |
| Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkötekniikan korkeakoulu |
| Koulutusohjelma: | Elektroniikan ja sähkötekniikan koulutusohjelma |
| Oppiaine: | Sähköfysiikka (S3025) |
| Valvoja: | Turunen, Markus |
| Ohjaaja: | Perros, Alexander |
| Elektroninen julkaisu: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201305162877 |
| Sijainti: | |
| Avainsanat: | Atomikerroskasvatus ALD TiO2 lämpötila |
| ED: | 2012-07-04 |
INSSI tietueen numero: 44839
+ lisää koriin
INSSI