haku: @keyword vacuum / yhteensä: 5
viite: 4 / 5
Tekijä: | Poutiainen, Juho |
Työn nimi: | ALD-reaktorin vakuumikammion suunnittelu |
Designing the vacuum chamber of ALD reactor | |
Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
Julkaisuvuosi: | 2009 |
Sivut: | (8) + 81 s. + liitt. Kieli: fin |
Koulu/Laitos/Osasto: | Koneenrakennustekniikan laitos |
Oppiaine: | Koneensuunnitteluoppi (Kon-41) |
Valvoja: | Juhanko, Jari |
Ohjaaja: | Karjalainen, Veli-Matti |
OEVS: | Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossaOppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa. Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/ Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.
Kirjautuminen asiakaskoneille
Opinnäytteen avaaminen
Opinnäytteen lukeminen
Opinnäytteen tulostus
|
Sijainti: | P1 Ark Aalto 6061 | Arkisto |
Avainsanat: | thin-films vacuum Atomic layer deposition ohutkalvopinnoitus tyhjiötekniikka ALD |
ED: | 2009-06-24 |
INSSI tietueen numero: 37756
+ lisää koriin
INSSI