haku: @keyword Electron Beam Lithography / yhteensä: 6
viite: 6 / 6
« edellinen | seuraava »
Tekijä: | Xia, Chuan |
Työn nimi: | Electron Beam Lithography |
Elektronisuihkulitografia | |
Julkaisutyyppi: | Lisensiaatintutkimus |
Julkaisuvuosi: | 1999 |
Sivut: | 73 Kieli: eng |
Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto |
Oppiaine: | Elektronifysiikka (S-69) |
Valvoja: | Sinkkonen, Juha |
Ohjaaja: | |
Sijainti: | S | Arkisto |
Avainsanat: | scanning electron microscope electron beam lithography liftoff reactive ion etching anisotropic etching fluorine gases silicon nanostructures |
ED: | 1999-09-17 |
INSSI tietueen numero: 14692
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI