haku: @keyword PECVD / yhteensä: 6
viite: 2 / 6
Tekijä: | Kokkala, Ville |
Työn nimi: | Timantinkaltaisen hiilipinnoitteen plasma-avusteinen kasvatusprosessi |
Plasma enhanced deposition process for diamond-like carbon coating | |
Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
Julkaisuvuosi: | 2003 |
Sivut: | 78 Kieli: fin |
Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto |
Oppiaine: | Elektronifysiikka (S-69) |
Valvoja: | Kuivalainen, Pekka |
Ohjaaja: | Mutikainen, Risto |
OEVS: | Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossaOppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa. Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/ Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.
Kirjautuminen asiakaskoneille
Opinnäytteen avaaminen
Opinnäytteen lukeminen
Opinnäytteen tulostus
|
Sijainti: | P1 Ark S80 | Arkisto |
Avainsanat: | diamond-like-carbon DLC PECVD nanoindentation timantinkaltainen hiili DLC PECVD nanoindentointi |
Tiivistelmä (fin): | Tässä diplomityössä esitellään optimoitu prosessi timantinkaltaisen hiilipinnoitteen (DLC) kasvattamiseen radiotaajuusplasman avulla. DLC:n käyttötarkoitus on toimia kulumista estävänä pinnoitteena mikroelektromekaanisissa kiihtyvyysantureissa. Prosessiin kuuluu olennaisena osana myös kasvatuslaitteen automatisoitu puhdistus, joka optimoidaan nopeuden ja pinnoitettaville kiekoille kertyvien epäpuhtauksien suhteen. Kirjallisuusosassa käydään läpi DLC-pinnoitteen monimutkaisen rakenteen ja kasvatusparametrien merkityksen tutkimuksessa erityisesti viime vuosina saavutettuja tuloksia. Pinnoitteen ominaisuuksien mittausmenetelmiä arvioidaan tuotannon laadunvalvonnan kannalta, ja pinnoitteen vetypitoisuuden aiheuttamia mittausteknisiä erityispiirteitä tuodaan esille. Puhdistus- ja kasvatusprosessin optimoinnissa hyödynnettiin tilastollista koesuunnittelua sekä muita tilastollisen analyysin työkaluja. Mittauksissa käytettiin useita mekaanisia ja optisia menetelmiä sekä malleja, joista osa on kehitetty erityisesti DLC:tä varten. Työn tulokset vastaavat kalvon ominaisuuksien osalta aiemmin julkaistuja tutkimuksia, joskin parametrien vaihtelualue jouduttiin pitämään melko suppealla tuotannollisuusvaatimuksen vuoksi. Automaattisen puhdistuksen tehokkuutta saatiin parannettua huomattavasti, ja epäpuhtauksien määrä aleni noin 98 %. |
ED: | 2003-09-15 |
INSSI tietueen numero: 19964
+ lisää koriin
INSSI