haku: @keyword kapasitiivinen anturi / yhteensä: 6
viite: 5 / 6
Tekijä: | Väisäsvaara, Juha |
Työn nimi: | Charging effects in capacitive MEMS |
Varautumisilmiöt kapasitiivisissa MEMS-rakenteissa | |
Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
Julkaisuvuosi: | 2004 |
Sivut: | ix + 102 Kieli: eng |
Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto |
Oppiaine: | Mittaustekniikka (S-108) |
Valvoja: | Tittonen, Ilkka |
Ohjaaja: | Koskenvuori, Mika |
OEVS: | Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossaOppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa. Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/ Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.
Kirjautuminen asiakaskoneille
Opinnäytteen avaaminen
Opinnäytteen lukeminen
Opinnäytteen tulostus
|
Sijainti: | P1 Ark S80 | Arkisto |
Avainsanat: | capacitive sensor electrical breakdown emission MEMS microgap vacuum breakdown mikromekaniikka emissio läpilyönti tyhjiöläpilyönti kapasitiivinen anturi pienet etäisyydet |
Tiivistelmä (fin): | Tässä työssä tutkittiin varautumisilmiötä ja niistä johtuvia läpilyöntejä kapasitiivisissa MEMS (micro-electro-mechanical structures) rakenteissa. Työssä tutkittiin myös kirjallisuusselvityksenä erilaisia mikromekaanisten rakenteiden kuvaamis- ja analysointimenetelmiä, joita voitaisiin mahdollisesti käyttää lisätiedon hankkimiseksi läpilyönti-ilmiöistä. Teoriaosiossa käydään läpi läpilyönti-ilmiöön liittyvät oleelliset näkökohdat ja yritetään luoda kokonaiskuva rakenteissa vaikuttavista ilmiöistä nykytiedon valossa. Myös viimeisimmät hypoteesit läpilyöntiprosessin syille ja läpilyönnin etenemiselle on pyritty esittämään. Työssä mitattiin useiden kapasitiivisten paineantureiden virtajännite-käyttäytymistä. Mittauksista voitiin todeta emissio-ilmiö kyseisissä rakenteissa ennen läpilyöntiä ja läpilyönnin aiheuttama materiaalin kasaantuminen/siirtyminen. Mittauksissa tutkittiin myös polariteetin vaikutusta emissioon ja läpilyöntiin, läpilyönnin ennakointia ja emissiovirtaa. |
ED: | 2005-01-18 |
INSSI tietueen numero: 26661
+ lisää koriin
INSSI