haku: @keyword glass / yhteensä: 6
hakutulos-lista
viite: 5 / 6
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Saarela, Ville
Työn nimi:Glass microprocessing for fluidic devices
Neste- ja kaasukomponentteja mikrotyöstöstämällä lasia
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2006
Sivut:76      Kieli:   eng
Koulu/Laitos/Osasto:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Oppiaine:Elektronifysiikka   (S-69)
Valvoja:Kuivalainen, Pekka
Ohjaaja:Franssila, Sami
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark S80     | Arkisto
Avainsanat:microfabrication
microfluidics
glass
etching
bonding
nebulizer
mikrovalmistus
fluidistiikka
lasi
etsaus
bondaus
sumutin
Tiivistelmä (fin): Tämän työn tavoitteena oli kehittää lasikiekkojen mikrotyöstöä ja soveltaa menetelmiä miniatyrisoituun sumuttimeen, joka toimii ionilähteenä massaspektrometrille.
Lisäksi sumutinkomponentin ja sen suihkun lämpöominaisuuksia tutkittiin mittaamalla ja tietokonesimulaatioin.

Hyvälaatuisia läpireikiä märkäetsattiin 0,5 mm paksuun lasikiekkoon käyttäen LPCVD kasvatettua piiohutkalvoa maskina.
Kyseisellä maskikerroksella pistesyöpymien määrä pysyi vähäisenä eikä maskikerroksessa esiintynyt juurikaan lohkeilua.
Myös PECVD kasvatettua piiohutkalvoa kokeiltiin lasin märkäetsauksen maskina, mutta se osoittautui täysin kelvottomaksi syviin etsauksiin.

Työssä tutkittiin myös kahden lasikiekon yhteen liittämistä yhteensulattamalla 660 °C:ssa sekä anodisesti käyttäen piiohutkalvovälikerrosta.
Molemmilla liitostavoilla rajapintaan jäi pieniä kaasukuplia, mutta liitoksen lujuus oli yhteensulattamalla huomattavasti parempi.
Anodisesti liitetyt palaset sai lohkaistua irti siististi rajapintaa pitkin, mutta yhteensulatettuja puoliskoja ei voinut erottaa.

Diplomityössä toteutettiin erilaisia sumutin-ionilähteitä.
Komponentti koostuu kahdesta yhteen liitetystä kiekosta: toiseen kiekkoon on etsattu kanava ja suutin ja toiselle integroitu metallinen lämmitysvastus.
Työssä kehitettiin sumuttimelle valmistusprosessi, jossa käytetään kahta lasikiekkoa.
Myös aikaisemmin toteutettuun pii- ja lasikiekoista valmistettuun sumuttimeen tehtiin parannuksia.

Ionilähteen lämpötila voi nousta käytön aikana jopa 500 °C:een.
Komponentin lämpöominaisuuksia tutkittiin erilaisin menetelmin.
Komponentin pinnan lämpötilajakaumaa selvitettiin lämpökameralla, jota käytettiin myös suihkun lämpötilajakauman kuvantamiseen.
Suihkun lämpötilajakauma mitattiin myös 125µm termoparilla, joka oli kiinnitetty tietokoneohjattuun xyz-tasoon.
Suihkua simuloitiin COMSOL Multiphysics ohjelmalla.
Simulaatiotuloksien ja mittauksien välillä havaittiin hyvä korrelaatio.
ED:2006-03-31
INSSI tietueen numero: 31469
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI