haku: @keyword mikrosysteemit / yhteensä: 6
hakutulos-lista
viite: 5 / 6
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Härkönen, Aarni
Työn nimi:Pii-lasi-komposiittikiekkojen jännitysten ja kaarevuuden käyttäytyminen lämpökäsittelyssä
Behaviour of silicon-glass composite wafers in heath treatment
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2007
Sivut:115 (+12)      Kieli:   fin
Koulu/Laitos/Osasto:Materiaalitekniikan osasto
Oppiaine:Metalli- ja materiaalioppi   (Mak-45)
Valvoja:Lehto, Ari
Ohjaaja:Leinvuo, Joni
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark TKK  92   | Arkisto
Avainsanat:microsystems
glass
structural relaxation
viscoelastic relaxation
slow viscous flow
mikrosysteemit
lasi
pystysuora lasieriste
rakenteellinen relaksaatio
viskoelastinen relaksoituminen
hidas viskoosi virtaus
Tiivistelmä (fin): Työssä tutkitaan mikrosysteemien valmistuksessa käytettäviä pii-lasi-komposiittikiekkoja ja niihin muodostuvan termisen jännitystilan relaksoitumista lasin rakenteellisen relaksaation ja jännityksen viskoelastisen relaksaation vaikutuksesta korotetuissa lämpötiloissa.
Tässä työssä tutkitaan kahta erilaista pii-lasi-komposiittirakennetta.
Toisessa rakenteessa lasikerros on valmistettu tasaiselle piikiekolle ja toisessa lasikerros täyttää piikiekolle työstetyt syvät pystysuorat urat.

Teoriaosuudessa esitetään työn kannalta tärkeät lasien ja lasia muodostavien nesteiden fysikaaliset ominaisuudet.
Komposiittikiekkoihin muodostuvia jännityksiä ja kaarevuuksia tutkitaan pienen ja suuren muodonmuutoksen teorian kautta.
Jännitysten ja kaarevuuden relaksoitumista korotetuissa lämpötiloissa tutkitaan lasin rakenteellisen relaksaation ja lasin hitaan viskoosin virtauksen seurauksena.

Termisen historian ja tilavuuden rakenteellisen relaksaation vaikutusta lasiin tutkitaan kokeellisesti lasin tiheysmittauksin sekä kaarevuusmittauksin korotetuissa lämpötiloissa.
Lisäksi mitataan pii-lasi-komposiittikiekkojen kaarevuuden muutosta huoneenlämmössä lasitransitioalueen alapuolella suoritettavien isotermisten lämpökäsittelyjen seurauksena.
Piin ja lasin lämpölaajenemien eron aiheuttaman jännitystilan relaksoitumista lasin hitaalla viskoosilla virtauksella tutkitaan teoreettisesti piipinnalla ja piiurassa.

Tulosten perusteella osoitetaan, että työssä tutkitun alkaliboorilasin tiheys riippuu nopeudesta millä muodostunut lasi jäähdytettiin alijäähtyneestä nesteestä.
Lasin ja piin lämpölaajenemien erotukselle havaitaan hystereesiä lämmityssyklillä.
Tämä selitetään lasin tilavuuden rakenteellisella relaksaatiolla.
Tähän pohjautuen osoitetaan teorian ja kokeiden kautta, miten lasitransitioaluetta alemmissa lämpötiloissa suoritettavan hehkutuksen kautta voidaan pienentää yksinkertaisen pii-lasi-komposiittikiekon (tasainen piipinta) kaarevuutta.
Menetelmää ei voida suoraan käyttää kaarevuuden kontrollointiin komposiittikiekolle, jossa on pystysuorat lasiurat.
Tässä tapauksessa kiekon kaarevuus uria kohtisuoraan olevassa suunnassa kasvaa.
ED:2008-09-29
INSSI tietueen numero: 36329
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI