haku: @keyword mikrosysteemit / yhteensä: 6
viite: 3 / 6
Tekijä:Lyytinen, Jussi
Työn nimi:Fixed Abrasive Chemical Mechanical Planarization Process Development for MEMS-Applications
CMP-kiillotusprosessin kehitys MEMS-sovelluksiin
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2009
Sivut:128 + 33      Kieli:   eng
Koulu/Laitos/Osasto:Kemian ja materiaalitieteiden tiedekunta
Oppiaine:Metalli- ja materiaalioppi   (Mak-45)
Valvoja:Hannula, Simo-Pekka
Ohjaaja:Kilpinen, Petteri ; Haimi, Eero
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark V80     | Arkisto
Avainsanat:CMP
chemical mechanical planarization
chemical mechanical polishing
FA
fixed abrasive
MEMS
microelectromechanical systems
microsystems
silicon
silicon dioxide
alkali borosilicate glass
BF33
CMP
planarisointi
kemiallis mekaaninen kiillotus
MEMS
mikroelektromekaaniset systeemit
mikrosysteemit
pii
piidioksidi
boorisilikaattilasi
BF33
ED:2014-12-16
INSSI tietueen numero: 50151
+ lisää koriin
INSSI