haku: @keyword ydintyminen / yhteensä: 6
viite: 2 / 6
Tekijä: | Martins Lopes, Vanessa |
Työn nimi: | Jalometallien atomikerroskasvatus (ALD) |
Julkaisutyyppi: | Kandidaatintyö |
Julkaisuvuosi: | 2014 |
Sivut: | 36 Kieli: fin |
Koulu/Laitos/Osasto: | Kemian tekniikan korkeakoulu |
Koulutusohjelma: | Materiaalitekniikan koulutusohjelma |
Oppiaine: | Materiaalien prosessointi (MT3002) |
Valvoja: | Forsén, Olof |
Ohjaaja: | Franssila, Sami |
Elektroninen julkaisu: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201507083794 |
Sijainti: | |
Avainsanat: | atomikerroskasvatus ALD-menetelmä ohutkalvo plasma ydintyminen jalometalli |
ED: | 2015-08-16 |
INSSI tietueen numero: 51732
+ lisää koriin
INSSI