haku: @supervisor Tuomi, Turkka / yhteensä: 66
viite: 61 / 66
| Tekijä: | Blomberg, Mats |
| Työn nimi: | Återkristallisering av jonimplanterad kisel med en koldioxidlaser |
| uudelleenkiteyttäminen, ioni-istutettu pii, hiilidioksidilaser | |
| Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
| Julkaisuvuosi: | 1982 |
| Sivut: | 68 Kieli: swe |
| Koulu/Laitos/Osasto: | Teknillisen fysiikan osasto |
| Oppiaine: | Fysiikka (00.03) |
| Valvoja: | Tuomi, Turkka |
| Ohjaaja: | |
| Digitoitu julkaisu: | https://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/73240 |
| OEVS: | Digitoitu arkistokappale on julkaistu Aaltodocissa
|
| Sijainti: | P1 Ark TF80 | Arkisto |
| ED: | 1994-04-29 |
INSSI tietueen numero: 68
+ lisää koriin
INSSI