haku: @keyword pintaenergia / yhteensä: 7
viite: 6 / 7
Tekijä: | Suni, Tommi |
Työn nimi: | Low Temperature Silicon Wafer Bonding |
Piikiekkojen matalalämpötilaliittäminen | |
Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
Julkaisuvuosi: | 2001 |
Sivut: | 83 Kieli: eng |
Koulu/Laitos/Osasto: | Materiaali- ja kalliotekniikan osasto |
Oppiaine: | Metalli- ja materiaalioppi (Mak-45) |
Valvoja: | Kuivalainen, Pekka |
Ohjaaja: | Henttinen, Kimmo |
OEVS: | Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossaOppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa. Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/ Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.
Kirjautuminen asiakaskoneille
Opinnäytteen avaaminen
Opinnäytteen lukeminen
Opinnäytteen tulostus
|
Sijainti: | P1 Ark V80 | Arkisto |
Avainsanat: | wafer bonding plasma activation crack opening method surface energy SOI low temperature bonding piikiekkojen liittäminen plasma-aktivointi pintaenergia SOI matalalämpötilaliittäminen |
ED: | 2002-07-16 |
INSSI tietueen numero: 18892
+ lisää koriin
INSSI