haku: @instructor Svensk, Olli / yhteensä: 7
hakutulos-lista
viite: 7 / 7
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Törmä, Pekka
Työn nimi:Galliumnitridi- ja alumiinigalliumnitridipohjaisten laserrakenteiden prosessointi ICP-menetelmällä
ICP processing of gallium nitride and aluminium gallium nitride for laser structures
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2006
Sivut:vi + 73      Kieli:   fin
Koulu/Laitos/Osasto:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Oppiaine:Optoelektroniikka   (S-104)
Valvoja:Lipsanen, Harri
Ohjaaja:Svensk, Olli
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark S80     | Arkisto
Avainsanat:gallium nitride
aluminium gallium nitride
etching
semiconductor laser
galliumnitridi
alumiinigalliumnitridi
ICP
etsaus
puolijohdelaser
SEM
Tiivistelmä (fin): Tässä diplomityössä tutkittiin galliumnitridin ja alumiinigalliumnitridin prosessointia induktiivisesti kytketyllä plasmaetsauksella (ICP) laserrakenteiden valmistamista varten.
Työ tehtiin Teknillisen korkeakoulun Optoelektroniikan laboratoriossa.
Etsattujen rakenteiden profiilien ja pinnan morfologian tutkimiseen käytettiin elektronimikroskooppia, atomivoimamikroskooppia ja profilometria.

Pientenkin etsauskammion happipitoisuuksien havaittiin aiheuttavan epätasaisen etsatun pinnan A1GaN:a etsattaessa.
Tästä johtuen piidioksidimaski ei sovellu alumiinia sisältävien rakenteiden etsaukseen.
Nikkelimaskia voidaan käyttää sekä GaN:n että A1GaN:n kanssa.

GaN-seinämien todettiin etsautuvan tasaisesti C12/Ar-plasmalla.
Korkealaatuisia A1GaN-rakenteita etsattaessa C12/Ar-plasmaan on lisättävä joko BC13:a tai SiC14:a estämään epätasaisen pinnan syntymistä.
Prosessoiduilla A1GaN-näytteillä (alumiinipitoisuus 16 %) BC13:n kaasuvirtauksen osuuden oli oltava vähintään 20 % C12:n ja BC13:n virtausten yhteismäärästä.
SiC14:n tapauksessa tarvittava virtausosuus oli vähintään 6,7 %.

Prosessiparametrit lämpötilalle, paineelle, ionienergialle ja plasmatiheydelle määriteltiin suuren etsausnopeuden ja tasaisten etsausprofiilien saavuttamiseksi.
Optimoidulla prosessilla valmistettiin optisesti pumpattu 400 nm aallonpituudella toimiva GaN-pohjainen puolijohdelaser.
ED:2006-02-27
INSSI tietueen numero: 30674
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI