haku: @keyword metrologia / yhteensä: 7
viite: 5 / 7
Tekijä: | Seppä, Jeremias |
Työn nimi: | Control of an Interferometrically Traceable Metrology Atomic Force Microscope for MIKES |
Interferometrisesti jäljitettävän metrologisen atomivoimamikroskoopin ohjaus | |
Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
Julkaisuvuosi: | 2007 |
Sivut: | xi + 54 Kieli: eng |
Koulu/Laitos/Osasto: | Tietotekniikan osasto |
Oppiaine: | Informaatiotekniikka (T-61) |
Valvoja: | Oja, Erkki |
Ohjaaja: | Lassila, Antti |
OEVS: | Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossaOppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa. Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/ Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.
Kirjautuminen asiakaskoneille
Opinnäytteen avaaminen
Opinnäytteen lukeminen
Opinnäytteen tulostus
|
Sijainti: | P1 Ark Aalto 6949 | Arkisto |
Avainsanat: | SPM nanometrology laser interferometry control microscopy metrology traceability piezo measurement AFM SPM nanometrologia laser interferometria säätö mikroskopia metrologia jäljitettävyys pietso mittaus AFM |
Tiivistelmä (fin): | Pyyhkäisymikroskooppien (SPM) kalibrointi vaatii kalibroituja siirtonormaaleja. Joidenkin maiden kansalliset metrologiainstituutit ovat jo rakentaneet laserinterferometrisiä metrologisia atomivoimamikroskooppeja nanometrologisten siirtonormaalien kalibrointiin. Tässä työssä rakennetaan säätöjärjestelmä, mittausohjelmisto ja käyttöliittymä Mittatekniikan keskuksessa (MIKES) kehitetylle 3-D -interferometriselle atomivoimamikroskoopille. Järjestelmä on kehitetty sekä siirtonormaalien kalibrointiin tarjoten jäljitettävyyden metrin määritelmästä siirtonormaaleilla kalibroituihin pyyhkäisymikroskooppeihin, että nanometrologiseen tutkimukseen. Työssä tutkitaan laitteiston koordinaattijärjestelmien, sensorien ja aktuaattoreiden suhteita ja epäideaalisuuksia, ja tämän tiedon pohjalta rakennetaan säätö- ja mittausjärjestelmä joka koostuu ohjelmistosta ja elektroniikasta. Järjestelmän suorituskykyä tutkitaan lähinnä säätösilmukoiden ja mittausnopeuden kannalta. |
ED: | 2007-10-18 |
INSSI tietueen numero: 34753
+ lisää koriin
INSSI