haku: @instructor Ikonen, Juha / yhteensä: 7
viite: 4 / 7
Tekijä:Virtanen, Jussi Maurits
Työn nimi:Specific contact resistivity of metal-graphene -junctions
Kontaktiresistiivisyys metalli-grafeeni -liitoksissa
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2009
Sivut:ix + 49      Kieli:   eng
Koulu/Laitos/Osasto:Elektroniikan, tietoliikenteen ja automaation tiedekunta
Oppiaine:Optoelektroniikka   (S-104)
Valvoja:Lipsanen, Harri
Ohjaaja:Riikonen, Juha
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark S80     | Arkisto
Avainsanat:graphene
ohmic contact
Shockley
transfer length
Schottky barrier
metal-semiconductor junction
focused ion beam
grafeeni
ohminen kontakti
Shockley
TLM
Schottky
metalli-puolijohde-liitos
keskitetty ionisuihku
Tiivistelmä (fin): Työssä tutkittiin eri metallien (Cr, Ti, Pd, Mo, Pt) ja grafeenin välisiä kontaktiresistiivien arvoja (pc).
Valitut metallit ovat yleisesti käytössä grafeeniin perustuvissa komponenteissa.

Kontaktiresistiivi mitattiin ensisijaisesti käyttämällä TLM (transfer length method) menetelmää, mutta saatuja arvoja verrattiin myös neljään kontaktiin perustuvaan resistiivisyyden mittauksen tuloksiin ja tässä työssä kehitettyyn matemaattiseen malliin, mikäli tämä oli mahdollista.
Malli kehitettiin ottamaan huomioon grafeenihiutaleiden geometriset vaihtelut.

Mekaanisesti kuoritut grafeenihiutaleet prosessoitiin perinteisillä puhdastilamenetelmillä ja metalloitiin elektronisuihkuhöyrystimellä tai keskitetyllä ionisuihkulla.
Yksi referenssi näyte kuvioitiin myös käyttämällä elektronisuihkulitografiaa.

Elektronisuihkulla höyrystetyt metallit, platinaa lukuun ottamatta, muodostivat ohmisen kontaktin ja täyttivät matalaohmisen liitoksen kriteerin (Pc < 10-6 koomegacm2).
Kontaktiresistiivisyyden ei havaittu riippuvan grafeenin paksuudesta.
Matalin kontaktiresistiivisyys Pc= 5.6 x 10-9 koomegacm2 mitattiin kromi-grafeeni -liitoksessa.
Keskitetyn ionisuihkun huomattiin levittävän hienoa amorfista hiilipölyä näytteiden päälle platinakontakteja metalloitaessa.
Kontaminaatiota ei pystytty poistamaan kahdella eri jälkikäsittelyllä.
Lisäksi platinakontaktien mitatut neliöalan resistanssit olivat tuhatkertaisia verrattuna paksuun platinaan.
ED:2009-07-17
INSSI tietueen numero: 38104
+ lisää koriin
INSSI