haku: @keyword fotonikide / yhteensä: 8
viite: 4 / 8
Tekijä:Sihvonen, Olli
Työn nimi:Active photonic crystals in indium phosphide membrane
Aktiivisia fotonikiteitä indiumfosfidikalvossa
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2006
Sivut:83      Kieli:   eng
Koulu/Laitos/Osasto:Teknillisen fysiikan ja matematiikan osasto
Oppiaine:Optiikka ja molekyylimateriaalit   (Tfy-125)
Valvoja:Kaivola, Matti
Ohjaaja:Mulot, Mikaël
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark TF80     | Arkisto
Avainsanat:photonic crystals
indium phosphide
photonic band edge
spin-on-glass
bonding
heterostructure
electron beam lithography
plasma etcing
fotonikide
indiumfosfidi
spin-on-glass
bondaus
heterorakenne
elektronisuihkulitografia
kuivaetsaus
Tiivistelmä (fin): Tässä työssä valmistettiin ja karakterisoitiin indiumfosfidikalvossa olevia aktiivisia fotonikiderakenteita.
Tällaiset rakenteet tarjoavat mielenkiintoisen vaihtoehdon perinteisille pintaemittoiville pystykaviteeteille.
Työssä kehitettiin spin-on-glass:n käyttöön liima-aineena perustuva kustannustehokas ja joustava sirutason menetelmä aktiivisen kvanttikaivorakenteen sisältävän indiumfosfidikalvon bondaamiseen piidioksidin päälle.

Suunniteltu grafiitti-fotonikiderakenne optimoitiin tietokonesimulaatioiden avulla vertikaalista emissiota varten optiseen tietoliikenteeseen sopivalla aallonpituusalueella.
Halkaisijaltaan 300 nm:n rei'istä koostuvan fotonikiderakenteen kuvioimiseen käytettiin elektronisuihkulitografiaa.
Kehitysajan, resistin paksuuden sekä annoksen vaikutus reikien halkaisijaan sekä sivuprofiilin pystysuoruuteen määritettiin, ja optimaaliset parametrit esitetään.

Resistiin kuvioitu rakenne siirrettiin piinitridimaskiin reaktiivista ionietsausta käyttäen.
Induktiivisesti kytkettyä plasmaetsausta käytettiin indiumfosfidin etsaamiseen piinitridimaskin läpi.
Etsausnopeudet ja selektiivisyydet määritettiin etsausaikojen sekä maski- ja resistikerroksen paksuuksien optimoimiseksi.

Valmistettuja fotonikiderakenteita karakterisoitiin käyttäen fotoluminesenssi-menetelmää.
Fotoluminesenssikuvaajissa havaittiin selkeitä resonanssipiikkejä aallonpituusalueella 1650-1700 nm vastaten valmistettujen rakenteiden simuloinnista saatuja tuloksia.
Valon vahvistuminen perustuu fotonikiteen aikaansaamaan, laakeista fotonivöistä johtuvaan optisen tilatiheyden kasvuun.
ED:2007-01-29
INSSI tietueen numero: 32973
+ lisää koriin
INSSI