haku: @keyword litografia / yhteensä: 8
viite: 1 / 8
« edellinen | seuraava »
| Tekijä: | Aalto, Mikael |
| Työn nimi: | Nanolitografia |
| Julkaisutyyppi: | Kandidaatintyö |
| Julkaisuvuosi: | 2015 |
| Sivut: | 26 Kieli: fin |
| Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkötekniikan korkeakoulu |
| Koulutusohjelma: | Elektroniikan ja sähkötekniikan koulutusohjelma |
| Oppiaine: | Elektroniikka (S3027) |
| Valvoja: | Turunen, Markus |
| Ohjaaja: | Kakko, Joona-Pekko |
| Elektroninen julkaisu: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201506303339 |
| Sijainti: | |
| Avainsanat: | nano litografia ääriultravioletti elektronisuihku nanopainatus |
| ED: | 2015-08-16 |
INSSI tietueen numero: 51610
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI