haku: @keyword spectrometer / yhteensä: 11
viite: 8 / 11
Tekijä:Antila, Jarkko
Työn nimi:Micro-electromechanical mirror for Fourier transform interferometry
Mikromekaaninen peili Fourier-muunnosinterferometriaan
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2003
Sivut:vii + 69 s. + liitt. 16      Kieli:   eng
Koulu/Laitos/Osasto:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Oppiaine:Mittaustekniikka   (S-108)
Valvoja:Ikonen, Erkki
Ohjaaja:Saari, Heikki
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark TKK  372   | Arkisto
Avainsanat:Fourier
FT-IR
FT-NIR
FTS
interferometer
MEMS
micro-electromechanical
mirror
spectrometer
interferometri
mikromekaaninen
peili
spektrometri
Tiivistelmä (fin):Materiaalien tunnistus ja analyysi ovat yleisiä mittauskohteita monissa yhteyksissä.
Tässä työssä kuvaillaan uusi tapa toteuttaa mittalaite tätä tarkoitusta varten.
Pääajatuksena oli kehittää mikromekaaninen liikkuva peili, jota käyttämällä saataisiin suositun suurtarkkuusmittalaitteen, Fourier-muunnosspektrometrin, kokoa pienennettyä.
Työssä osoitettiin, että toimiva mittalaite on mahdollista rakentaa käyttämällä useita tällaisia tarkasti liikutettavia pellejä.

Peilin toiminnalle kehitettiin matemaattinen malli ja mallia käyttämällä todettiin, että teoreettinen peilin paikan tarkkuus on 0.01 nm ja kulmatarkkuus 9.10[-9] rad.
Peilin maksimiliikematkaksi suunniteltiin 10 µm ja akustista mallinnusta käytettiin vähentämään ilmavirtausten aiheuttamaa vastusta ohjausnopeuden maksimoimiseksi.
Komponentin valmistus suunniteltiin toteutettavaksi Silicon-On-Insulator -rakenteelle mikroelektroniikan valmistuksessa käytettävin menetelmin.

Ohjelmistopohjainen automatisoitu mittausjärjestelmä rakennettiin teorian varmistamista varten.
Järjestelmässä simuloitiin mikromekaanista peiliä alumiinipeilillä, jota liikuteltiin pietsosähköisen elementin avulla sekä käyttämällä mikromekaanista piivaakaa, jota alun perin käytettiin komponenttisuunnittelun lähtökohtana.
Varsinainen peilikomponentti ei ollut vielä saatavilla testausta varten.
Laser- sekä laajakaistavalolähdettä käytettiin testijärjestelmän verifioinnissa ja mikromekaanisen vaa'an ohjausta varten suunniteltiin sekä rakennettiin mittaus ja ohjauselektroniikka.
Vaa'an paikkamittausten toistettavuus oli 0.7 nm ja saavutettu optinen liikematka oli 1.63 µm.

Työn tulokset osoittivat, että mikroelektromekaaniselle peilille kehitetty matemaattinen malli on tarkoitukseen soveltuva ja että tavoitteena olevan Fourier muunnosspektrometrin toteuttaminen suunniteltujen peilien avulla on realistista.
ED:2003-04-02
INSSI tietueen numero: 19483
+ lisää koriin
INSSI