haku: @keyword paineanturi / yhteensä: 8
viite: 8 / 8
« edellinen | seuraava »
Tekijä: | Sivula, Lotta-Riina |
Työn nimi: | Suojauksen vaikutus kapasitiivisen paineanturin suorituskykyyn |
Effect of coating on performance of pressure sensor | |
Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
Julkaisuvuosi: | 2005 |
Sivut: | 106 Kieli: fin |
Koulu/Laitos/Osasto: | Materiaalitekniikan osasto |
Oppiaine: | Elektroniikan valmistustekniikka (S-113) |
Valvoja: | Kivilahti, Jorma |
Ohjaaja: | Syrjänen, Teppo ; Turunen, Markus |
OEVS: | Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossaOppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa. Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/ Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.
Kirjautuminen asiakaskoneille
Opinnäytteen avaaminen
Opinnäytteen lukeminen
Opinnäytteen tulostus
|
Sijainti: | P1 Ark V80 | Arkisto |
Avainsanat: | MEMS pressure sensor MID polarization dielectric constant MEMS paineanturi MID polarisoituminen dielektrisyysvakio |
Tiivistelmä (fin): | Tämä opinnäytetyö tehtiin osana VTI Technologies Oy:n paineanturikomponentin tuotekehitysprojektia. Työn tavoitteena oli perehtyä paineanturin toimintaan, MID-tekniikkaan ja dielektrisyysvakion teoreettiseen taustaan sekä määrittää uuteen paineanturikomponenttiin sopiva suojaus. Suojamateriaalin vaatimuksina ovat tuotannollisuus ja mekaaninen soveltuvuus komponenttiin, johon ei asenneta erillistä kantta. Kotelointikokonaisuuden on taattava riittävän hyvä suorituskyky paineanturille. Työn kirjallisuusosassa käsitellään kapasitiivisen paineanturin toimintaa ja MID-tekniikkaa. Kirjallisuusosiossa perehdytään myös materiaalien polarisoitumiseen ja niiden dielektrisyysvakion käyttäytymiseen erilaisissa olosuhteissa. Keskeisenä asiana kokeellisessa osiossa on ominaisuuksiltaan erilaisten suojamateriaalien soveltuvuuden testaaminen paineanturin suojaukseen. Suoritetun koesarjan tuloksien perusteella pyrittiin löytämään paineanturin suorituskykyyn vaikuttavia suojaustekijöitä. Kokeilla pyrittiin selvittämään myös suojamateriaalin aiheuttamia hajakapasitansseja paineanturielementin ympärillä. Työstä saadut tulokset osoittavat suojamateriaalin kovuudella olevan vaikutusta paineanturin suorituskykyyn. Paineanturielementin paineherkän kalvorakenteen ympärillä oleva suojamateriaali heikentää mekaanisten rasitusten vuoksi anturin suorituskykyä. Kirjallisuusosan dielektrisyysvakion teoreettiseen taustaan perehtyminen antaa hyvän pohjan anturielementin pinnalle muodostuvien hajakapasitanssien lisätutkimuksille sekä suojamateriaalien polarisoitumisen perusteellisimmille tutkimuksille. |
ED: | 2006-04-10 |
INSSI tietueen numero: 31500
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI