haku: @keyword traceability / yhteensä: 15
viite: 8 / 15
Tekijä:Seppä, Jeremias
Työn nimi:Control of an Interferometrically Traceable Metrology Atomic Force Microscope for MIKES
Interferometrisesti jäljitettävän metrologisen atomivoimamikroskoopin ohjaus
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2007
Sivut:xi + 54      Kieli:   eng
Koulu/Laitos/Osasto:Tietotekniikan osasto
Oppiaine:Informaatiotekniikka   (T-61)
Valvoja:Oja, Erkki
Ohjaaja:Lassila, Antti
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark Aalto  6949   | Arkisto
Avainsanat:SPM
nanometrology
laser
interferometry
control
microscopy
metrology
traceability
piezo
measurement
AFM
SPM
nanometrologia
laser
interferometria
säätö
mikroskopia
metrologia
jäljitettävyys
pietso
mittaus
AFM
Tiivistelmä (fin): Pyyhkäisymikroskooppien (SPM) kalibrointi vaatii kalibroituja siirtonormaaleja.
Joidenkin maiden kansalliset metrologiainstituutit ovat jo rakentaneet laserinterferometrisiä metrologisia atomivoimamikroskooppeja nanometrologisten siirtonormaalien kalibrointiin.

Tässä työssä rakennetaan säätöjärjestelmä, mittausohjelmisto ja käyttöliittymä Mittatekniikan keskuksessa (MIKES) kehitetylle 3-D -interferometriselle atomivoimamikroskoopille.
Järjestelmä on kehitetty sekä siirtonormaalien kalibrointiin tarjoten jäljitettävyyden metrin määritelmästä siirtonormaaleilla kalibroituihin pyyhkäisymikroskooppeihin, että nanometrologiseen tutkimukseen.

Työssä tutkitaan laitteiston koordinaattijärjestelmien, sensorien ja aktuaattoreiden suhteita ja epäideaalisuuksia, ja tämän tiedon pohjalta rakennetaan säätö- ja mittausjärjestelmä joka koostuu ohjelmistosta ja elektroniikasta.
Järjestelmän suorituskykyä tutkitaan lähinnä säätösilmukoiden ja mittausnopeuden kannalta.
ED:2007-10-18
INSSI tietueen numero: 34753
+ lisää koriin
INSSI