haku: @author Pärnänen, Tuomas Oskari / yhteensä: 2
viite: 2 / 2
« edellinen | seuraava »
| Tekijä: | Pärnänen, Tuomas Oskari |
| Työn nimi: | Z-akselin suuntaan mittaavan kapasitiivisen MEMS-kiihtyvyysanturin suunnittelu SOI-tekniikalla |
| Julkaisutyyppi: | Kandidaatintyö |
| Julkaisuvuosi: | 2011 |
| Sivut: | 21 Kieli: fin |
| Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkötekniikan korkeakoulu |
| Koulutusohjelma: | Elektroniikan ja sähkötekniikan tutkinto-ohjelma |
| Oppiaine: | Elektroniikka (S3027) |
| Valvoja: | Turunen, Markus |
| Ohjaaja: | Aaltonen, Lasse |
| Elektroninen julkaisu: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201305162451 |
| Sijainti: | |
| Avainsanat: | MEMS kiihtyvyysanturi kapasitiivinen z-akseli SOI |
| ED: | 2011-12-19 |
INSSI tietueen numero: 43572
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI