haku: @supervisor Franssila, Sami / yhteensä: 22
hakutulos-lista
viite: 8 / 22
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Marin, Giovanni
Työn nimi:Inclined lithography and photoresist optimization for fabrication of 3D mesh structures
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2014
Sivut:vi + 69 s. + liitt. 5      Kieli:   eng
Koulu/Laitos/Osasto:Sähkötekniikan korkeakoulu
Oppiaine:Micro and Nanotechnology   (S3010)
Valvoja:Franssila, Sami
Ohjaaja:Jokinen, Ville
Elektroninen julkaisu: http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201412303346
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark Aalto  2497   | Arkisto
Avainsanat:microfabrication
inclined lithography
3D structures
mesh
photoresist
Tiivistelmä (eng):The goal of this thesis was to fabricate 3D structures using SU-8 with a novel inclined exposure setup and process.
The structures are 3D meshes whose final shape is dependent on both pattern on the photomask and SU-8 layer thickness. 3D structures were successfully fabricated on layers 100, 70 and 50 μm thick.
Different patterns where tested to analyse the relations of the sizes and distribution of the holes in the mask with the final structures.
SEM imaging confirmed the hypothesis that the shape of the 3D mesh is controlled by the pattern in the mask, the layer thickness and for a certain extent by the exposure dose.
During the fabrication defects, caused by the behaviour of the resist during exposure, are observed in the structures.
Most of the defects were eliminated or reduced in the optimized samples.
The final structures fabricated had apertures in the mesh ranging from as small as 10 μm up to 40 μm and it was demonstrated that they can be fabricated inside microfluidic channels.
Improvements to the process and potential applications are presented at the end of the thesis.
ED:2015-01-18
INSSI tietueen numero: 50409
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI