haku: @keyword plasma / yhteensä: 25
viite: 3 / 25
| Tekijä: | Martins Lopes, Vanessa |
| Työn nimi: | Jalometallien atomikerroskasvatus (ALD) |
| Julkaisutyyppi: | Kandidaatintyö |
| Julkaisuvuosi: | 2014 |
| Sivut: | 36 Kieli: fin |
| Koulu/Laitos/Osasto: | Kemian tekniikan korkeakoulu |
| Koulutusohjelma: | Materiaalitekniikan koulutusohjelma |
| Oppiaine: | Materiaalien prosessointi (MT3002) |
| Valvoja: | Forsén, Olof |
| Ohjaaja: | Franssila, Sami |
| Elektroninen julkaisu: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201507083794 |
| Sijainti: | |
| Avainsanat: | atomikerroskasvatus ALD-menetelmä ohutkalvo plasma ydintyminen jalometalli |
| ED: | 2015-08-16 |
INSSI tietueen numero: 51732
+ lisää koriin
INSSI