haku: @keyword / yhteensä: 766
viite: 22 / 766
| Tekijä: | Perttilä, Matias |
| Työn nimi: | Korkearesistiivisten piikiekkojen radiotaajuisten soveltuvuuksien arvioiminen rekombinaatioelinaikamittauksilla |
| Evaluating radio frequency capabilities of high resistive silicon wafers with recombination lifetime measurements | |
| Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
| Julkaisuvuosi: | 2015 |
| Sivut: | 10 + 62 Kieli: fin |
| Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkötekniikan korkeakoulu |
| Oppiaine: | Mikro- ja nanotekniikka (S3010) |
| Valvoja: | Halonen, Kari |
| Ohjaaja: | Lempinen, Vesa-Pekka |
| Elektroninen julkaisu: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201511205189 |
| Sijainti: | P1 Ark Aalto 3211 | Arkisto |
| Avainsanat: | silicon wafer component lifetime network analyzer radio frequency high resistive parasitic surface conductance quality number polysilicon piikiekko parasiittinen pintajohtavuus IPD elinaika korkearesistiivinen radiotaajuus |
| ED: | 2015-11-29 |
INSSI tietueen numero: 52529
+ lisää koriin
INSSI