haku: @supervisor Tittonen, Ilkka / yhteensä: 48
viite: 1 / 48
« edellinen | seuraava »
| Tekijä: | Saali, Aapo |
| Työn nimi: | MEMS-based AC voltage reference |
| MEMSiin perustuva vaihtojännitereferenssi | |
| Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
| Julkaisuvuosi: | 2016 |
| Sivut: | (9) + 59 Kieli: eng |
| Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkötekniikan korkeakoulu |
| Oppiaine: | Micro and Nanosciences (S3037) |
| Valvoja: | Tittonen, Ilkka |
| Ohjaaja: | Manninen, Antti ; Immonen, Pekka |
| Elektroninen julkaisu: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201612226213 |
| Sijainti: | P1 Ark Aalto 6763 | Arkisto |
| Avainsanat: | voltage reference MEMS current-driven system metrology accelerometer metrologia jännitereferenssi virtaohjattu järjestelmä kiihtyvyysanturi |
| Tiivistelmä (fin): | Tässä työssä keskityttiin mikroelektromekaaniseen systeemiin (MEMS) pohjautuvaan vaihtojännitereferenssiin. Teoriaosuudessa käydään läpi MEMS jännitereferenssin toimintaperiaate. Jännitereferenssin toiminta perustuu MEMS-kondensaattorin pull-in-jännitteeseen. Pull-in-pisteessä kondensaattorin levyjen välinen jännite pysyy vakiona ajan suhteen, jolloin tätä jännitettä voidaan näin ollen käyttää referenssijännitteenä. MEMS-kondensaattoria pidetään pull-in-pisteessä virtaohjauksen avulla, joka on toteutettu käyttäen digitaalielektroniikkaa. Mittauksissa keskitytään referenssin jännitteen stabiilisuuteen vaikuttaviin ympäristötekijöihin, kuten lämpötila-, paine- ja ilmankosteusriippuvuuteen. Lisäksi tarkastellaan elektroniikan maadoitusongelmia ja eristämistä, jotka vaikuttavat referenssijännitteen stabiilisuuteen. |
| Tiivistelmä (eng): | In this thesis, the focus is on a microelectromechanical system (MEMS) based AC voltage reference implemented with digital control electronics. In the theory part, the working principle of the MEMS-based AC voltage reference is described. The voltage reference is based on the pull-in voltage of the MEMS-capacitor. The voltage over the capacitor plates at the pull-in point is stable over time and, therefore, can be used as a reference voltage. The MEMS-capacitor is kept in the pull-in point by using charge control. In measurements and results, the focus is on finding and solving the stability issues that the device has. Temperature, pressure, and humidity dependencies, and the issues with insulation and grounding of the measurement electronics are covered. These issues affect the stability of the reference voltage and, therefore, need to be addressed. |
| ED: | 2017-01-08 |
INSSI tietueen numero: 55252
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI