search query: @author Kilpinen, Petteri / total: 1
reference: 1 / 1
« previous | next »
Author:Kilpinen, Petteri
Title:Materiaali- ja prosessiparametrien vaikutus piin syöpymisen anisotropiaan KOH-syövytteessä
Influence of Material Parameters and Process Parameters to Anisotropic Etching of Silicon in KOH
Publication type:Master's thesis
Publication year:1998
Pages:81      Language:   fin
Department/School:Materiaali- ja kalliotekniikan osasto
Main subject:Metalli- ja materiaalioppi   (Mak-45)
Supervisor:Lindroos, Veikko
Instructor:Haimi, Eero ; Punkka, Eero
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark V80     | Archive
Abstract (fin):Työn teoriaosassa tarkastellaan piin anisotrooppisen syöpymisen käyttökohteita ja anisotrooppisia syövytteitä.
Teoriaosassa tarkastellaan myös piin kiderakennetta ja sen vaikutusta anisotrooppiseen syöpymiseen sekä KOH-syövytettä.
Lisäksi tarkastellaan piin ja KOH:n käyttäytymistä, kun pii on kontaktissa KOH-syövytteen kanssa.
Teoriaosassa esitellään kaksi anisotrooppisen syöpymisen mallia ja niistä saatavat päätelmät syöpymisen vaihtelusta.
Erikseen esitellään KOH:n konsenkaation ja lämpötilan sekä KOH:iin liuenneen piin määrän ja liuenneiden epäpuhtauksien määrän sekä piin seosainemäärän (B) vaikutusta syöpymiseen ja anisotropiaan.
Lisäksi teoriaosassa käsitellään maskimateriaaleja, anisotrooppisella syövytyksellä aikaansaatavia rakenteita, näissä rakenteissa ilmeneviä epätarkkuuksia sekä erilaisia kulmakompensaatiokuvioita.

Työn kokeellisessa osassa esitellään kokeissa käytetyt koemateriaalit ja testimaski sekä koelaitteisto, koejärjestelyt ja mittausmenetelmät.
Lisäksi esitellään neljässä eri KOH konsentraatiossa (10, 20, 30 ja 40 p-%) ja kahdessa eri lämpötilassa (65 ja 75 °C) tehtyjen kokeiden tulokset ja niiden tulkinnat.
Kokeissa kartoitettiin runsaasti boorilla seostettujen (p+) piikiekkojen syöpymis- ja anisotropia-käyttäytymistä eri KOH-konsentraatioissa ja -lämpötiloissa.
Saatujen syövytystulosten pohjalta tuloksissa esitetään KOH-konsentraation, -lämpötilan ja kiekkojen resistiivisyyden vaikutukset syöpymiskäyttäytymiseen sekä syöpymisen tasaisuuteen.
Lisäksi tuloksissa määritetään nopeitten syöpyvät tasot sekä tarkastellaan syöpyneen pinnan laatua ja kulmakompensaatiokuvioiden toimivuutta.
Tulosten tarkastelussa esitetään resistiivisyyden pienenemisen vaikutus anisotropiaa lisäävä tekijänä sekä nopeitten syöpyvän tason vaihtuminen KOH-konsentraation kasvaessa.
ED:1998-11-26
INSSI record number: 13712
+ add basket
« previous | next »
INSSI