search query: @author Kilpinen, Petteri / total: 1
reference: 1 / 1
« previous | next »
Author: | Kilpinen, Petteri |
Title: | Materiaali- ja prosessiparametrien vaikutus piin syöpymisen anisotropiaan KOH-syövytteessä |
Influence of Material Parameters and Process Parameters to Anisotropic Etching of Silicon in KOH | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 1998 |
Pages: | 81 Language: fin |
Department/School: | Materiaali- ja kalliotekniikan osasto |
Main subject: | Metalli- ja materiaalioppi (Mak-45) |
Supervisor: | Lindroos, Veikko |
Instructor: | Haimi, Eero ; Punkka, Eero |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark V80 | Archive |
Abstract (fin): | Työn teoriaosassa tarkastellaan piin anisotrooppisen syöpymisen käyttökohteita ja anisotrooppisia syövytteitä. Teoriaosassa tarkastellaan myös piin kiderakennetta ja sen vaikutusta anisotrooppiseen syöpymiseen sekä KOH-syövytettä. Lisäksi tarkastellaan piin ja KOH:n käyttäytymistä, kun pii on kontaktissa KOH-syövytteen kanssa. Teoriaosassa esitellään kaksi anisotrooppisen syöpymisen mallia ja niistä saatavat päätelmät syöpymisen vaihtelusta. Erikseen esitellään KOH:n konsenkaation ja lämpötilan sekä KOH:iin liuenneen piin määrän ja liuenneiden epäpuhtauksien määrän sekä piin seosainemäärän (B) vaikutusta syöpymiseen ja anisotropiaan. Lisäksi teoriaosassa käsitellään maskimateriaaleja, anisotrooppisella syövytyksellä aikaansaatavia rakenteita, näissä rakenteissa ilmeneviä epätarkkuuksia sekä erilaisia kulmakompensaatiokuvioita. Työn kokeellisessa osassa esitellään kokeissa käytetyt koemateriaalit ja testimaski sekä koelaitteisto, koejärjestelyt ja mittausmenetelmät. Lisäksi esitellään neljässä eri KOH konsentraatiossa (10, 20, 30 ja 40 p-%) ja kahdessa eri lämpötilassa (65 ja 75 °C) tehtyjen kokeiden tulokset ja niiden tulkinnat. Kokeissa kartoitettiin runsaasti boorilla seostettujen (p+) piikiekkojen syöpymis- ja anisotropia-käyttäytymistä eri KOH-konsentraatioissa ja -lämpötiloissa. Saatujen syövytystulosten pohjalta tuloksissa esitetään KOH-konsentraation, -lämpötilan ja kiekkojen resistiivisyyden vaikutukset syöpymiskäyttäytymiseen sekä syöpymisen tasaisuuteen. Lisäksi tuloksissa määritetään nopeitten syöpyvät tasot sekä tarkastellaan syöpyneen pinnan laatua ja kulmakompensaatiokuvioiden toimivuutta. Tulosten tarkastelussa esitetään resistiivisyyden pienenemisen vaikutus anisotropiaa lisäävä tekijänä sekä nopeitten syöpyvän tason vaihtuminen KOH-konsentraation kasvaessa. |
ED: | 1998-11-26 |
INSSI record number: 13712
+ add basket
« previous | next »
INSSI