search query: @keyword iron concentration / total: 1
reference: 1 / 1
« previous | next »
Author: | Salonen, Tero |
Title: | Characterization of silicon wafers through surface photovoltage measurements |
Piikiekon karakterisoiminen pintavalojännitemittausten avulla | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 1999 |
Pages: | 110 Language: eng |
Department/School: | Tietotekniikan osasto |
Main subject: | Elektronifysiikka (S-69) |
Supervisor: | Sinkkonen, Juha |
Instructor: | Yli-Koski, Marko |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark T80 | Archive |
Keywords: | pintavalojännite diffuusiopituus rautakonsentraatio surface photovoltage diffusion length iron concentration |
Abstract (fin): | Tämä diplomityö käsittelee piikiekon laadun mittaamista kiekon diffuusiopituuden, joka määritetään pintavalojännitemittauksilla, avulla. Kiekon sisäiset ominaisuudet määräävät kiekon diffuusiopituuden. Ensiksi esitellään diffuusiopituuteen vaikuttavat ilmiöt. Kyseisten ilmiöiden ymmärtäminen luo perustan, jonka päälle pintavalojännitteen teoria voidaan rakentaa. Pintavalojännitteen teoria selostetaan. Kaksi hieman erilaista tapaa määrittää kiekon diffuusiopituus esitetään. Kiekon diffuusiopituuden suhde kiekon paksuuteen määrää kumpaa diffuusiopituuden määritystapaa käytetään. Pintavalojännitemittauksen ongelmia raportoidaan. Puolijohdeteollisuuden valmistamien piikiekkojen laatu on nykyisin niin hyvä, että laatu aiheuttaa ongelmia pintavalojännitemittauksille. Todetaan, että jos kiekon diffuusiopituus on alle puolet kiekon paksuudesta niin diffuusiopituuden määritys onnistuu helposti pintavalojännitetekniikalla. Diffuusiopituus voidaan laskea myös diffuusiopituuden ylittäessä kiekon paksuuden, mutta laskettu pituus sisältää helposti virheitä. Pintavalojännitetekniikan käyttämistä kiekon rautakonsentraation määrityksessä tutkitaan. Todetaan, että rautakonsentraatio voidaan laskea mittaustuloksista. Mitattu rautakonsentraatio ei kuitenkaan välttämättä ole lähellä oikeata konsentraatiota. |
ED: | 1999-07-20 |
INSSI record number: 14632
+ add basket
« previous | next »
INSSI