search query: @keyword diffraction gratings / total: 1
reference: 1 / 1
« previous | next »
Author:Huttunen, Anu
Title:Rigorous Analysis and Characterisation of Continuous Profile Diffraction Gratings
Jatkuvaprofiilisten diffraktiohilojen tarkkaan sähkömagneettiseen teoriaan perustuva analyysi ja karakterisointi
Publication type:Master's thesis
Publication year:1999
Pages:83      Language:   eng
Department/School:Teknillisen fysiikan ja matematiikan osasto
Main subject:Materiaalifysiikka   (Tfy-44)
Supervisor:Salomaa, Martti M.
Instructor:Kallioninemi, Ilkka ; Saarinen, Jyrki
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark TF80     | Archive
Keywords:Avainsanat suomeksi: Avainsanat englanniksi:
diffraction gratings
rigorous diffraction theory
inverse diffraction problem
neural networks
optical scatterometry
diffraktiohilat
tarkka sähkömagneettinen teoria
käänteinen diffraktio-ongelma
neuroverkot
optinen skatterometria
Abstract (fin):Diffraktiiviset elementit ovat mikrorakenteita, joita käytetään sähkömagneettisen säteilyn muokkaamiseen ja joiden toiminta perustuu diffraktioilmiöön.
Diffraktiohilojen eli jaksollisten diffraktiivisten elementtien analyysi tarkoittaa hilasta sironneen intensiteettijakauman ennustamista, kun diffraktiohilan rakenne tiedetään.
Käänteinen sirontaongelma tarkoittaa hilarakenteen päättelemistä sironneesta intensiteettijakaumasta.
Käänteinen sirontaongelma ei ole yksikäsitteinen, sillä saman intensiteettijakauman voi aiheuttaa moni hilarakenne.

Tässä työssä analysoidaan jatkuvaprofiilisia kolmiohiloja käyttäen tarkkaa sähkömagneettista diffraktioteoriaa sekä ratkaistaan käänteinen sirontaongelma neuroverkkojen avulla.
Tarkkaa sähkömagneettista diffraktioteoriaa täytyy käyttää, koska tutkittavien hilojen periodi on aallonpituuden suuruusluokkaa.
Analyysin tulokset käytetään neuroverkon opettamiseen.
Neuroverkko ennustaa hilan funktionaalisen rakenteen, kun sille annetaan hilaa vastaavat diffraktiohyötysuhteet.
Käänteinen sirontaongelma pystytään ratkaisemaan useille jatkuvaprofiilisille hiloille, mitä ei ole tehty aikaisemmin.
Täten työn tulokset osoittavat, että käänteinen sirontaongelma pystytään ratkaisemaan jatkuvaprofiilisille hiloille neuroverkkojen avulla.

Työssä käytettyä menetelmää käänteisen sirontaongelman ratkaisemiseksi voidaan hyödyntää optisessa skatterometriassa.
Diffraktiohilasta sironnut intensiteettijakauma mitataan ja diffraktiohila karakterisoidaan neuroverkkojen avulla.
Optista skatterometriaa hyödynnetään mikro-optiikassa ja mikroelektroniikassa käytettävien komponenttien valmistusvirheiden havaitsemiseen.
ED:2000-01-11
INSSI record number: 15083
+ add basket
« previous | next »
INSSI