search query: @keyword diffraktiohilat / total: 1
reference: 1 / 1
« previous | next »
Author: | Huttunen, Anu |
Title: | Rigorous Analysis and Characterisation of Continuous Profile Diffraction Gratings |
Jatkuvaprofiilisten diffraktiohilojen tarkkaan sähkömagneettiseen teoriaan perustuva analyysi ja karakterisointi | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 1999 |
Pages: | 83 Language: eng |
Department/School: | Teknillisen fysiikan ja matematiikan osasto |
Main subject: | Materiaalifysiikka (Tfy-44) |
Supervisor: | Salomaa, Martti M. |
Instructor: | Kallioninemi, Ilkka ; Saarinen, Jyrki |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark TF80 | Archive |
Keywords: | Avainsanat suomeksi: Avainsanat englanniksi: diffraction gratings rigorous diffraction theory inverse diffraction problem neural networks optical scatterometry diffraktiohilat tarkka sähkömagneettinen teoria käänteinen diffraktio-ongelma neuroverkot optinen skatterometria |
Abstract (fin): | Diffraktiiviset elementit ovat mikrorakenteita, joita käytetään sähkömagneettisen säteilyn muokkaamiseen ja joiden toiminta perustuu diffraktioilmiöön. Diffraktiohilojen eli jaksollisten diffraktiivisten elementtien analyysi tarkoittaa hilasta sironneen intensiteettijakauman ennustamista, kun diffraktiohilan rakenne tiedetään. Käänteinen sirontaongelma tarkoittaa hilarakenteen päättelemistä sironneesta intensiteettijakaumasta. Käänteinen sirontaongelma ei ole yksikäsitteinen, sillä saman intensiteettijakauman voi aiheuttaa moni hilarakenne. Tässä työssä analysoidaan jatkuvaprofiilisia kolmiohiloja käyttäen tarkkaa sähkömagneettista diffraktioteoriaa sekä ratkaistaan käänteinen sirontaongelma neuroverkkojen avulla. Tarkkaa sähkömagneettista diffraktioteoriaa täytyy käyttää, koska tutkittavien hilojen periodi on aallonpituuden suuruusluokkaa. Analyysin tulokset käytetään neuroverkon opettamiseen. Neuroverkko ennustaa hilan funktionaalisen rakenteen, kun sille annetaan hilaa vastaavat diffraktiohyötysuhteet. Käänteinen sirontaongelma pystytään ratkaisemaan useille jatkuvaprofiilisille hiloille, mitä ei ole tehty aikaisemmin. Täten työn tulokset osoittavat, että käänteinen sirontaongelma pystytään ratkaisemaan jatkuvaprofiilisille hiloille neuroverkkojen avulla. Työssä käytettyä menetelmää käänteisen sirontaongelman ratkaisemiseksi voidaan hyödyntää optisessa skatterometriassa. Diffraktiohilasta sironnut intensiteettijakauma mitataan ja diffraktiohila karakterisoidaan neuroverkkojen avulla. Optista skatterometriaa hyödynnetään mikro-optiikassa ja mikroelektroniikassa käytettävien komponenttien valmistusvirheiden havaitsemiseen. |
ED: | 2000-01-11 |
INSSI record number: 15083
+ add basket
« previous | next »
INSSI