search query: @author Antila, Jarkko / total: 1
reference: 1 / 1
« previous | next »
Author:Antila, Jarkko
Title:Micro-electromechanical mirror for Fourier transform interferometry
Mikromekaaninen peili Fourier-muunnosinterferometriaan
Publication type:Master's thesis
Publication year:2003
Pages:vii + 69 s. + liitt. 16      Language:   eng
Department/School:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Main subject:Mittaustekniikka   (S-108)
Supervisor:Ikonen, Erkki
Instructor:Saari, Heikki
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark TKK  372   | Archive
Keywords:Fourier
FT-IR
FT-NIR
FTS
interferometer
MEMS
micro-electromechanical
mirror
spectrometer
interferometri
mikromekaaninen
peili
spektrometri
Abstract (fin):Materiaalien tunnistus ja analyysi ovat yleisiä mittauskohteita monissa yhteyksissä.
Tässä työssä kuvaillaan uusi tapa toteuttaa mittalaite tätä tarkoitusta varten.
Pääajatuksena oli kehittää mikromekaaninen liikkuva peili, jota käyttämällä saataisiin suositun suurtarkkuusmittalaitteen, Fourier-muunnosspektrometrin, kokoa pienennettyä.
Työssä osoitettiin, että toimiva mittalaite on mahdollista rakentaa käyttämällä useita tällaisia tarkasti liikutettavia pellejä.

Peilin toiminnalle kehitettiin matemaattinen malli ja mallia käyttämällä todettiin, että teoreettinen peilin paikan tarkkuus on 0.01 nm ja kulmatarkkuus 9.10[-9] rad.
Peilin maksimiliikematkaksi suunniteltiin 10 µm ja akustista mallinnusta käytettiin vähentämään ilmavirtausten aiheuttamaa vastusta ohjausnopeuden maksimoimiseksi.
Komponentin valmistus suunniteltiin toteutettavaksi Silicon-On-Insulator -rakenteelle mikroelektroniikan valmistuksessa käytettävin menetelmin.

Ohjelmistopohjainen automatisoitu mittausjärjestelmä rakennettiin teorian varmistamista varten.
Järjestelmässä simuloitiin mikromekaanista peiliä alumiinipeilillä, jota liikuteltiin pietsosähköisen elementin avulla sekä käyttämällä mikromekaanista piivaakaa, jota alun perin käytettiin komponenttisuunnittelun lähtökohtana.
Varsinainen peilikomponentti ei ollut vielä saatavilla testausta varten.
Laser- sekä laajakaistavalolähdettä käytettiin testijärjestelmän verifioinnissa ja mikromekaanisen vaa'an ohjausta varten suunniteltiin sekä rakennettiin mittaus ja ohjauselektroniikka.
Vaa'an paikkamittausten toistettavuus oli 0.7 nm ja saavutettu optinen liikematka oli 1.63 µm.

Työn tulokset osoittivat, että mikroelektromekaaniselle peilille kehitetty matemaattinen malli on tarkoitukseen soveltuva ja että tavoitteena olevan Fourier muunnosspektrometrin toteuttaminen suunniteltujen peilien avulla on realistista.
ED:2003-04-02
INSSI record number: 19483
+ add basket
« previous | next »
INSSI