search query: @keyword micro-electromechanical / total: 1
reference: 1 / 1
« previous | next »
Author: | Antila, Jarkko |
Title: | Micro-electromechanical mirror for Fourier transform interferometry |
Mikromekaaninen peili Fourier-muunnosinterferometriaan | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 2003 |
Pages: | vii + 69 s. + liitt. 16 Language: eng |
Department/School: | Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto |
Main subject: | Mittaustekniikka (S-108) |
Supervisor: | Ikonen, Erkki |
Instructor: | Saari, Heikki |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark TKK 372 | Archive |
Keywords: | Fourier FT-IR FT-NIR FTS interferometer MEMS micro-electromechanical mirror spectrometer interferometri mikromekaaninen peili spektrometri |
Abstract (fin): | Materiaalien tunnistus ja analyysi ovat yleisiä mittauskohteita monissa yhteyksissä. Tässä työssä kuvaillaan uusi tapa toteuttaa mittalaite tätä tarkoitusta varten. Pääajatuksena oli kehittää mikromekaaninen liikkuva peili, jota käyttämällä saataisiin suositun suurtarkkuusmittalaitteen, Fourier-muunnosspektrometrin, kokoa pienennettyä. Työssä osoitettiin, että toimiva mittalaite on mahdollista rakentaa käyttämällä useita tällaisia tarkasti liikutettavia pellejä. Peilin toiminnalle kehitettiin matemaattinen malli ja mallia käyttämällä todettiin, että teoreettinen peilin paikan tarkkuus on 0.01 nm ja kulmatarkkuus 9.10[-9] rad. Peilin maksimiliikematkaksi suunniteltiin 10 µm ja akustista mallinnusta käytettiin vähentämään ilmavirtausten aiheuttamaa vastusta ohjausnopeuden maksimoimiseksi. Komponentin valmistus suunniteltiin toteutettavaksi Silicon-On-Insulator -rakenteelle mikroelektroniikan valmistuksessa käytettävin menetelmin. Ohjelmistopohjainen automatisoitu mittausjärjestelmä rakennettiin teorian varmistamista varten. Järjestelmässä simuloitiin mikromekaanista peiliä alumiinipeilillä, jota liikuteltiin pietsosähköisen elementin avulla sekä käyttämällä mikromekaanista piivaakaa, jota alun perin käytettiin komponenttisuunnittelun lähtökohtana. Varsinainen peilikomponentti ei ollut vielä saatavilla testausta varten. Laser- sekä laajakaistavalolähdettä käytettiin testijärjestelmän verifioinnissa ja mikromekaanisen vaa'an ohjausta varten suunniteltiin sekä rakennettiin mittaus ja ohjauselektroniikka. Vaa'an paikkamittausten toistettavuus oli 0.7 nm ja saavutettu optinen liikematka oli 1.63 µm. Työn tulokset osoittivat, että mikroelektromekaaniselle peilille kehitetty matemaattinen malli on tarkoitukseen soveltuva ja että tavoitteena olevan Fourier muunnosspektrometrin toteuttaminen suunniteltujen peilien avulla on realistista. |
ED: | 2003-04-02 |
INSSI record number: 19483
+ add basket
« previous | next »
INSSI