search query: @keyword Sol-gel technology / total: 1
reference: 1 / 1
« previous | next »
Author: | Rissanen, Anna |
Title: | Porous silica in micromechanical applications |
Huokoinen lasi mikromekaanisissa sovelluksissa | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 2003 |
Pages: | 77 Language: eng |
Department/School: | Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto |
Main subject: | Mittaustekniikka (S-108) |
Supervisor: | Tittonen, Ilkka |
Instructor: | Blomberg, Martti |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark S80 | Archive |
Keywords: | Sol-gel technology aerogel xerogel porosity supercritical drying spinning thin film characterization refractive index measurements Sol-gel -tekniikka aerogeeli xerogeeli huokoisuus superkriittinen kuivaus spinnaus ohutkalvon karakterisointi taitekerroinmittaukset |
Abstract (fin): | Aero- ja xerogeelit ovat nanohuokoisia materiaaleja, jotka tehdään sol-gel -tekniikalla. Korkean huokoisuuden takia niillä on monia ainutkertaisia fysikaalisia, termisiä, sähköisiä ja mekaanisia ominaisuuksia. Tämän työn tarkoitus oli kehittää puhdastilaan soveltuva sol-gel -prosessi ja saada aikaan kalvoja joiden huokoisuus on 60:n ja 80:n prosentin välillä. Työssä käytettiin useita reseptejä sekä prosessimodifikaatioita. Haluttuun tulokseen päästiin kaksivaiheisella happo-emäs sol-gel -prosessilla käyttäen tertiaarista butanolia liuottimena. Ensimmäisessä hydrolyysivaiheessa soolin koostumus oli TEOS: TBA: H_(2)O: HCl= 1: 3 : 2 : 7.3e-4. Toisessa vaiheessa sooliin lisättiin ammoniakkia kondensaatioreaktion katalysoimiseksi. Liuos spinnattiin piialustoille liuottimella saturoidussa ilmatilassa. Päällystämisen jälkeen kalvoja ikäännytettiin isopropanoli-ammoniakki -liuoksessa. Liuotin vaihdettiin isopropanoliin ja poistettiin superkriittisellä kuivausmenetelmällä. Kalvoja karakterisoitiin taitekerroinmittauksilla, pyyhkäisyelektronimikroskoopilla (SEM) sekä Rutherfordin takaisinsirontaspektrometrialla (RBS). Aerogeelin kuviointia litografialla ja plasmaetsaamalla tutkittiin. Lisäksi käsiteltiin kalvojen soveltamista puoliläpäisevänä etsausmaskina, vakojen täyttömateriaalina sekä soveltuvuutta nanokalorimetrisiin sovelluksiin ja kosteusantureihin. Sol-gel -prosessin toistettavuus todettiin huonoksi. Kalvojen demonstroitiin myös olevan hiukkaslähde, mikä tekee prosessista IC-yhteensopimattoman. Kalvojen kuviointi on mahdollista, joskin se muuttaa kalvojen ominaisuuksia. |
ED: | 2003-09-16 |
INSSI record number: 19971
+ add basket
« previous | next »
INSSI