search query: @keyword ankkurihäviö / total: 1
reference: 1 / 1
« previous | next »
Author: | Rosenberg, Piia |
Title: | Characterisation of piezoelectrically actuated micromechanical resonators |
Pietsosähköisesti kytkettyjen mikromekaanisten resonaattoreiden karakterisointi | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 2008 |
Pages: | ix + 56 s. + liitt. 13 Language: eng |
Department/School: | Elektroniikan, tietoliikenteen ja automaation tiedekunta |
Main subject: | Elektronifysiikka (S-69) |
Supervisor: | Kuivalainen, Pekka |
Instructor: | Jaakkola, Antti |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark S80 | Archive |
Keywords: | AIN anchor loss BAW MEMS piezoelectricity quality factor resonator silicon ankkurihäviö hyvyyslasku pietsosähköisyys pii resonaattori |
Abstract (fin): | Tässä diplomityössä mallinnetaan, karakterisoidaan ja kehitetään pietsosähköisesti kytkettyjä mikromekaanisia resonaattoreita. Työn tärkeimpiin tuloksiin kuuluu resonaattoreiden ankkurihäviöiden numeerinen mallinnus sekä valmistusprosessin parantaminen. Tutkitut resonaattorit koostuvat yksikiteisestä piipalkista, ja ne toimivat ensimmäisessä pitkittäissuuntaisessa resonanssimoodissa. Resonaattorit herätetään pietsosähköisen alumiininitridikerroksen avulla, joka on kasvatettu resonaattorin päälle. Keskeinen kiinteän aineen mekaanisiin ominaisuuksiin liittyvä teoria, pietsosähköinen ilmiö, sekä pietsosähköisen resonaattorin toimintaperiaate ja sen valmistusprosessi esitellään. Resonaattorin toimintaperiaatetta mallinnetaan yksidimensioisella mallilla, ja sähkömekaanista kytkentää mallinnetaan sekä analyyttisesti että numeerisesti. Myös resonaattoreiden ankkurihäviöitä simuloidaan. Ankkurihäviöiden riippuvuutta useasta eri parametrista mallinnetaan, ja tuloksia verrataan mittaustuloksiin. Valmistettujen resonaattoreiden hyvyyslukua ja sähkömekaanista kytkentäkerrointa tutkitaan mittausten avulla. Mittaukset näyttävät, että resonaattorin, jonka palkki on suunnattu piin [110]-kidesuuntaan, hyvyysluku on paljon korkeampi kuin vastaavan [100]-suuntaisen resonaattorin. Mallinnuksen mukaan tämä on seurausta kidesuuntariippuvista ankkurihäviöistä. Mallinnuksen ja mittausten perusteella suunnitellaan uusia resonaattoreita, joissa suurimmat ankkurihäviötekijät on pyritty minimoimaan. Suunnitellut resonaattorit on suunnattu [110]-kidesuuntaan, ja niiden ankkurit ovat mahdollisimman kapeat. Näiden kapea-ankkuristen resonaattoreiden toteuttamiseksi valmistusprosessia parannetaan. |
ED: | 2008-02-14 |
INSSI record number: 35330
+ add basket
« previous | next »
INSSI