search query: @keyword tyhjiölaitteisto / total: 1
reference: 1 / 1
« previous | next »
Author: | Kangas, Lauri K. |
Title: | Tyhjiölaitteiston suunnittelu ja toteutus MEMS-resonaattoreiden interferometriseen kuvantamiseen |
Publication type: | Bachelor's thesis |
Publication year: | 2008 |
Pages: | 27 Language: fin |
Department/School: | Informaatio- ja luonnontieteiden tiedekunta |
Degree programme: | Teknillisen fysiikan ja matematiikan tutkinto-ohjelma |
Main subject: | Teknillinen fysiikka (F3005) |
Supervisor: | Kaivola, Matti |
Instructor: | Kokkonen, Kimmo |
Electronic version URL: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201305165898 |
Location: | |
Keywords: | tyhjiölaitteisto MEMS resonaattori laser interferometri |
ED: | 2008-08-27 |
INSSI record number: 36145
+ add basket
« previous | next »
INSSI