search query: @supervisor Sinkkonen, Juha / total: 110
reference: 3 / 110
Author: | Kaasalainen, Jussi |
Title: | Mikromekaanisen kapasitiivisen anturin suorakaideaaltoherätteeseen perustuva tasajännitenormaali ja mittausjärjestelmä |
DC voltage standard and measurement system based on square wave escitation of a micromechanical capacitive sensor | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 2008 |
Pages: | (9) + 53 Language: fin |
Department/School: | Elektroniikan, tietoliikenteen ja automaation tiedekunta |
Main subject: | Elektronifysiikka (S-69) |
Supervisor: | Sinkkonen, Juha |
Instructor: | Manninen, Antti |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark S80 | Archive |
Keywords: | metrology voltage standard MEMS accelerometer PI control metrologia jännitenormaali MEMS kiihtyvyysanturi PI-säätö |
Abstract (fin): | Jännitemetrologiassa on tarvetta tasajännitenormaalille, jonka tarkkuus ja kohinaominaisuudet ovat paremmat kuin nyt käytössä olevilla korkealuokkaisilla zenerdiodeilla ja valmistus- ja käyttökustannukset toisaalta olennaisesti pienemmät kuin Josephson-liitossarjoihin perustuvilla laitteistoilla, jotka ovat tarkimpia tunnettuja jännitenormaaleita. Myös kaupallisissa sovelluksissa sekä teollisuuden käyttämissä elektronisissa laitteissa on esiintynyt tarvetta tarkemmille ja edullisille referenssijännitteille. Mikroelektromekaanisen (MEMS) tasokondensaattorin eräs ominaisuus on se, että sen kapasitanssi riippuu kondensaattorin liikkuvan ja liikkumattoman levyn välisestä jännitteestä. Näihin MEMS-tasokondensaattorin karakteristisiin ominaisuuksiin perustuvalla jännitenormaalilla on potentiaalisesti mahdollista saavuttaa zenerdiodeita parempi tarkkuus. Tulevaisuudessa valmiin jännitenormaalilaitteiston käytettävyys ja sovellukseen implementointi ovat yhtä yksinkertaista kuin zenerdiodeilla, laitteiston hinta ja koko ovat kuitenkin todennäköisesti pienemmät. Tässä työssä tutkittiin MEMS-kondensaattorin suorakaideaaltomuotoiseen vaihtojänniteherätteeseen perustuvan tasajännitenormaalin pitkän aikavälin stabiilisuutta. Vaihtojännitteen käytöllä pyrittiin estämään MEMS-kondensaattorin rajapinnoissa ja oksidikerroksissa tyypillisesti esiintyvien hitaiden varautumisilmiöiden haitallista vaikutusta. Teoriaosassa on esitetty olennaisimmat MEMS-kondensaattorin ominaisuudet sekä jännitenormaalin toteuttavan laitteiston toimintaperiaate. Jännitenormaalin stabiilisuuden tutkimiseksi konstruoitiin takaisinkytkentään ja PI-säätöön perustuva elektroniikka ja tietokoneohjelmisto sekä mittauslaitteisto. MEMS-kondensaattorina käytettiin tavanomaista kapasitiivista kiihtyvyysanturia. |
ED: | 2008-07-29 |
INSSI record number: 35915
+ add basket
INSSI