search query: @keyword lämpötilariippuvuus / total: 12
reference: 9 / 12
« previous | next »
Author:Pietikäinen, Sami
Title:Kapasitiivisen mikroanturin lämpötilariippuvuuden minimointi
Minimization of the capacitance temperature dependency in a micromechanical sensor
Publication type:Master's thesis
Publication year:2002
Pages:68 s. + liitt.      Language:   fin
Department/School:Konetekniikan osasto
Main subject:Lujuusoppi   (Kul-49)
Supervisor:Määttänen, Mauri
Instructor:Lahdenperä, Juha ; Santaoja, Kari
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark TKK  5599   | Archive
Keywords:micromechanics
temperature dependency
silicon-glass seals
FEM
mikromekaniikka
lämpötilariippuvuus
pii-lasi-liitos
Abstract (fin):Tässä opinnäytetyössä pyritään parantamaan kapasitiiviseen mittaustekniikkaan perustuvan kiihtyvyysanturin suorituskykyä minimoimalla aktiivikapasitanssin suhteellinen lämpötilariippuvuus.
Lämpötilan muuttuessa rakenteessa tapahtuu materiaalien pituuden lämpötilakertoimien eroista johtuvia muodonmuutoksia, joita pyritään hallitsemaan lasikerroksen rakenteellisilla muutoksilla.

Lasikerroksen vaikutusta kiihtyvyysanturin termomekaaniseen käyttäytymiseen pyritään selvittämään teoreettisen tarkastelun lisäksi simuloimalla sekä kokeellisten testien avulla.
Mallinnusosuudessa pyritään selvittämään porraslasirakenteen lasikerrospaksuuksien optimaalisia arvoja aktiivikapasitanssin lämpötilariippuvuuden minimoimiseksi.
Kokeellisessa osuudessa vertaillaan perinteisiä anturirakenteita näytteisiin, jotka on valmistettu uudella porraslasitekniikalla.
Kokeellisessa osuudessa antureiden suorituskykyä mitataan myös niiltä osin, mitä ei simuloinneissa ollut mahdollista toteuttaa.

Vertailemalla kokeellisia ja simuloitujen mallien antamia tuloksia keskenään pyritään verifioimaan elementtimenetelmän käytettävyyttä MEMS-rakenteiden simuloinneissa tulevien tuotekehityshankkeiden edistämiseksi.

Tulokset porraslasirakenteen käyttäytymisestä sekä simuloinnin että kokeellisen työn perusteella olivat erittäin rohkaisevia.
Tietyillä rakenteilla saavutetaan aktiivikapasitanssin osalta jopa negatiivinen lämpötilariippuvuus, joten riippuvuuden säätäminen nollaan on myös mahdollista.
Rakennemuutoksen tuotannollisia vaatimuksia ei vielä tunneta, mutta tiedetään että kiihtyvyysanturin porraslasirakenne on perinteistä rakennetta herkempi epäsymmetrialle.
Valmistustoleranssien selvittäminen vaatii laajempaa kokeellista osuutta eli uusien näytteiden valmistamista ja testaamista.
ED:2002-05-21
INSSI record number: 18566
+ add basket
« previous | next »
INSSI