search query: @keyword polarization / total: 15
reference: 10 / 15
Author: | Sivula, Lotta-Riina |
Title: | Suojauksen vaikutus kapasitiivisen paineanturin suorituskykyyn |
Effect of coating on performance of pressure sensor | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 2005 |
Pages: | 106 Language: fin |
Department/School: | Materiaalitekniikan osasto |
Main subject: | Elektroniikan valmistustekniikka (S-113) |
Supervisor: | Kivilahti, Jorma |
Instructor: | Syrjänen, Teppo ; Turunen, Markus |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark V80 | Archive |
Keywords: | MEMS pressure sensor MID polarization dielectric constant MEMS paineanturi MID polarisoituminen dielektrisyysvakio |
Abstract (fin): | Tämä opinnäytetyö tehtiin osana VTI Technologies Oy:n paineanturikomponentin tuotekehitysprojektia. Työn tavoitteena oli perehtyä paineanturin toimintaan, MID-tekniikkaan ja dielektrisyysvakion teoreettiseen taustaan sekä määrittää uuteen paineanturikomponenttiin sopiva suojaus. Suojamateriaalin vaatimuksina ovat tuotannollisuus ja mekaaninen soveltuvuus komponenttiin, johon ei asenneta erillistä kantta. Kotelointikokonaisuuden on taattava riittävän hyvä suorituskyky paineanturille. Työn kirjallisuusosassa käsitellään kapasitiivisen paineanturin toimintaa ja MID-tekniikkaa. Kirjallisuusosiossa perehdytään myös materiaalien polarisoitumiseen ja niiden dielektrisyysvakion käyttäytymiseen erilaisissa olosuhteissa. Keskeisenä asiana kokeellisessa osiossa on ominaisuuksiltaan erilaisten suojamateriaalien soveltuvuuden testaaminen paineanturin suojaukseen. Suoritetun koesarjan tuloksien perusteella pyrittiin löytämään paineanturin suorituskykyyn vaikuttavia suojaustekijöitä. Kokeilla pyrittiin selvittämään myös suojamateriaalin aiheuttamia hajakapasitansseja paineanturielementin ympärillä. Työstä saadut tulokset osoittavat suojamateriaalin kovuudella olevan vaikutusta paineanturin suorituskykyyn. Paineanturielementin paineherkän kalvorakenteen ympärillä oleva suojamateriaali heikentää mekaanisten rasitusten vuoksi anturin suorituskykyä. Kirjallisuusosan dielektrisyysvakion teoreettiseen taustaan perehtyminen antaa hyvän pohjan anturielementin pinnalle muodostuvien hajakapasitanssien lisätutkimuksille sekä suojamateriaalien polarisoitumisen perusteellisimmille tutkimuksille. |
ED: | 2006-04-10 |
INSSI record number: 31500
+ add basket
INSSI