search query: @supervisor Saarinen, Kimmo / total: 16
reference: 1 / 16
« previous | next »
Author:Pennanen, Katja
Title:Termisten vakanssien tutkiminen vahvasti n-tyyppisessä piissä positroniannihilaatiospektroskopialla
Observation of thermal vacancies in highly n-type silicon by positron annihilation spectroscopy
Publication type:Master's thesis
Publication year:2005
Pages:96      Language:   fin
Department/School:Teknillisen fysiikan ja matematiikan osasto
Main subject:Fysiikka   (Tfy-3)
Supervisor:Saarinen, Kimmo
Instructor:
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark TF80     | Archive
Keywords:positron spectroscopy
silicon
vacancy
positronispektroskopia
pii
vakanssivirhe
Abstract (fin):Termisten vakanssien ymmärtäminen on tärkeää, sillä ne välittävät seostusatomien diffuusiota.
Tämä diffuusio johtaa sähköisesti passiivisten vakanssi-epäpuhtausklusterien syntymiseen, jotka puolestaan huonontavat ratkaisevasti piin sähköisiä ominaisuuksia.

Työssä tutkittiin termisiä vakansseja positronispektroskopian menetelmin voimakkaasti arseenilla ja fosforilla seostetuissa bulk-piinäytteissä sekä antimonilla ja arseenilla seostetuissa ohutkalvoissa.
Termisten vakanssien havaitsemiseksi bulk-näytteistä mitattiin positronin elinaikaa ja Doppler-levenemää lämpötiloissa 200-800 K.
Ohutkalvojen tapauksessa näytteitä toivutettiin erillisessä putkiuunissa ja mitattiin huoneenlämpötilassa.

As-seostetussa näytteessä termiset vakanssit näkyivät positronin keskimääräisen elinajan kohoamisena lämpötiloissa 750-800 K.
Syntyneiden virheiden konsentraatio oli kuitenkin liian pieni virheiden tarkemmaksi identifioimiseksi.
Todettiin myös, ettei positroni loukkuunnu V-As3-virheeseen yli 580 K lämpötilassa.
P-seostetussa näytteessä havaittiin termisten vakanssien syntymistä 290-750 K lämpötiloissa. 700 K ja 750 K lämpötiloissa näytteen pinnan lähellä nähdään vakansseja ja V-P-pareja ja syvemmällä näytteessä P-atomien ympäröimiä vakansseja.
Näytteen jäähdyttyä huoneenlämpötilaan osa vakansseista jää näytteeseen ja pinnan läheisyydessä nähdään pieni konsentraatio divakansseja.

As-seostetuissa ja RTA-toivutetuissa ohutkalvoissa havaittiin 800 K ja 1000 K lämpötiloissa tehtyjen toivutusten jälkeen termisiä vakanssivirheitä, jotka näkyvät selkeänä tasona W-parametrissa.
Vakanssivirheet ovat mitä todennäköisimmin divakansseja ja niitä nähdään pieni konsentraatio jo RTA-toivutuksen jälkeen.
Tason sijainnin perusteella voidaan sanoa, että virhekonsentraatio on vähintään luokkaa 1019 cm-3.
Sb-seostetussa ohutkalvonäytteessä, jonka seostuskonsentraatio oli 9,4.1020 cm-3, 800 K lämpötilassa tehdyn toivutuksen jälkeen vakanssien ympärillä havaitaan lisää Sb-atomeita.

Lisäksi työssä laskettiin teorian perusteella positronin loukkuuntumista relaksoituihin vakansseihin ja vakanssi-arseenipareihin ja selvitettiin eri lämmitysmenetelmien soveltuvuutta näytteen lämmittämiseen positronimittausten aikana.
ED:2005-11-08
INSSI record number: 29939
+ add basket
« previous | next »
INSSI