search query: @keyword resonaattori / total: 18
reference: 9 / 18
« previous | next »
Author:Rosenberg, Piia
Title:Characterisation of piezoelectrically actuated micromechanical resonators
Pietsosähköisesti kytkettyjen mikromekaanisten resonaattoreiden karakterisointi
Publication type:Master's thesis
Publication year:2008
Pages:ix + 56 s. + liitt. 13      Language:   eng
Department/School:Elektroniikan, tietoliikenteen ja automaation tiedekunta
Main subject:Elektronifysiikka   (S-69)
Supervisor:Kuivalainen, Pekka
Instructor:Jaakkola, Antti
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark S80     | Archive
Keywords:AIN
anchor loss
BAW
MEMS
piezoelectricity
quality factor
resonator
silicon
ankkurihäviö
hyvyyslasku
pietsosähköisyys
pii
resonaattori
Abstract (fin): Tässä diplomityössä mallinnetaan, karakterisoidaan ja kehitetään pietsosähköisesti kytkettyjä mikromekaanisia resonaattoreita.
Työn tärkeimpiin tuloksiin kuuluu resonaattoreiden ankkurihäviöiden numeerinen mallinnus sekä valmistusprosessin parantaminen.

Tutkitut resonaattorit koostuvat yksikiteisestä piipalkista, ja ne toimivat ensimmäisessä pitkittäissuuntaisessa resonanssimoodissa.
Resonaattorit herätetään pietsosähköisen alumiininitridikerroksen avulla, joka on kasvatettu resonaattorin päälle.

Keskeinen kiinteän aineen mekaanisiin ominaisuuksiin liittyvä teoria, pietsosähköinen ilmiö, sekä pietsosähköisen resonaattorin toimintaperiaate ja sen valmistusprosessi esitellään.
Resonaattorin toimintaperiaatetta mallinnetaan yksidimensioisella mallilla, ja sähkömekaanista kytkentää mallinnetaan sekä analyyttisesti että numeerisesti.
Myös resonaattoreiden ankkurihäviöitä simuloidaan.
Ankkurihäviöiden riippuvuutta useasta eri parametrista mallinnetaan, ja tuloksia verrataan mittaustuloksiin.

Valmistettujen resonaattoreiden hyvyyslukua ja sähkömekaanista kytkentäkerrointa tutkitaan mittausten avulla.
Mittaukset näyttävät, että resonaattorin, jonka palkki on suunnattu piin [110]-kidesuuntaan, hyvyysluku on paljon korkeampi kuin vastaavan [100]-suuntaisen resonaattorin.
Mallinnuksen mukaan tämä on seurausta kidesuuntariippuvista ankkurihäviöistä.

Mallinnuksen ja mittausten perusteella suunnitellaan uusia resonaattoreita, joissa suurimmat ankkurihäviötekijät on pyritty minimoimaan.
Suunnitellut resonaattorit on suunnattu [110]-kidesuuntaan, ja niiden ankkurit ovat mahdollisimman kapeat.
Näiden kapea-ankkuristen resonaattoreiden toteuttamiseksi valmistusprosessia parannetaan.
ED:2008-02-14
INSSI record number: 35330
+ add basket
« previous | next »
INSSI