search query: @keyword resonaattori / total: 18
reference: 7 / 18
| Author: | Kangas, Lauri K. |
| Title: | Tyhjiölaitteiston suunnittelu ja toteutus MEMS-resonaattoreiden interferometriseen kuvantamiseen |
| Publication type: | Bachelor's thesis |
| Publication year: | 2008 |
| Pages: | 27 Language: fin |
| Department/School: | Informaatio- ja luonnontieteiden tiedekunta |
| Degree programme: | Teknillisen fysiikan ja matematiikan tutkinto-ohjelma |
| Main subject: | Teknillinen fysiikka (F3005) |
| Supervisor: | Kaivola, Matti |
| Instructor: | Kokkonen, Kimmo |
| Electronic version URL: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201305165898 |
| Location: | |
| Keywords: | tyhjiölaitteisto MEMS resonaattori laser interferometri |
| ED: | 2008-08-27 |
INSSI record number: 36145
+ add basket
INSSI